激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能,特別是氣體中氧,、水,、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損,還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定,。
激光混合氣的重要特點之一,,激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能,,特別是氣體中氧,、水、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損,,還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定,。因此,對激光混合氣組分的純度有著特殊要求,,包裝混合氣的鋼瓶,,充裝前也必須進(jìn)行干燥處理,防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光,,二氧化碳激光氣是第二代氣體激光,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光,,可稱為第三代激光,。
激光混合氣的組成與精度的影響?;旌蠚庵薪M分濃度的變化對于振蕩效率和激光器使用壽命影響極大.激光混合氣采用99.999%,、二氧化碳和99.999%氫氣、氮氣和氦氣等高純氣體,,按激光發(fā)生器的的比例要求配制而成的預(yù)混合氣體,。具有重復(fù)性好、均勻性好,、一致性好等特點,。激光混合氣的組成與精度的影響。對于二氧化碳激光器,,若混合氣氮組分氣濃度發(fā)生變化,,受電子沖撞則引起氨分子激勵狀態(tài)發(fā)生變化,結(jié)果會造成二氧化碳?xì)怏w分子的激勵效率等發(fā)生變化,。
一切以氣體或蒸汽作為激光工作物質(zhì)的激,,統(tǒng)稱為氣體激。這是目前種類多,、發(fā)展快應(yīng)用廣的一類激光器,。激光混合氣中所用氣體的種類作用:普氧:作為切割碳鋼的氣體(助燃性)純度99.5%純氮:作為切割不銹鋼的氣體(冷卻性)純度999%(切割碳鋼速度為3/4)激光混合氣的組成與精度的影響。氣體激光器的種類繁多,,激光混合氣的品種,、規(guī)格也較多。對于激光混合氣的組成與精度都有嚴(yán)格的要求,。
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