高純氣體(HighPurityGases)氣體工業(yè)名詞,，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。對(duì)于不同類別的氣體,，純度指標(biāo)不同,，例如對(duì)于氫，氮,，氦,，氬而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體,；而對(duì)于氧氣,，純度為99.199%即可稱高純氧；對(duì)于碳?xì)浠衔?，純度?9199%的即可認(rèn)為是高純氣體,。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè),，高純氮,，氫，氬,，氦可作為運(yùn)載氣,，保護(hù)氣和配制混合氣的底氣,。
高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體,，和無機(jī)高純氣體，
有機(jī)高純氣體,。
1,、烷烴類：
甲烷（CH4）、乙烷（C2H6）,、丙烷（C3H8）,、環(huán)丙烷（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）,、異丁烷（i-C4H10）,、正戊烷（n-C5H12)、新戊烷（neo-C5H12）,、氯甲烷（CH3Cl）,、氯乙烷（C2H5Cl）、三氟甲烷（CHF3）,、環(huán)氧乙烷（C2H4O）,、砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）,、（B2H6）,、硅烷（SiH4）等,；
2、烯烴類：
乙烯（C2H4）,、丙烯（C3H6）,、丙二烯（C3H4==）、1-丁烯（1-C4H8）,、異丁烯（i-C4H8),、反-2-丁烯（t-2-C4H8）、順-2-丁烯（c-2-C4H8）,、1.2-丁二烯（1.2-C4H6）,、1.3-丁二烯（1.3-C4H6）、氯乙烯（C2H3Cl）等,；
3,、炔烴類：
乙炔（C2H2）、1-丁炔（1-C4H6）,、2-丁炔（2-C4H6）,、甲基乙炔（C3H4）、乙烯基乙炔（C4H4=≡）等,；
4,、其他：
二甲醚（C2H6O）、甲硫醇（CH4S）,、熏蒸劑（C2H4O-CO2)等
無機(jī)高純氣體
1,、空氣（Air）、氫氣（H2）,、氧氣（O2）,、氮?dú)猓∟2）、氬氣（Ar）,、氦氣（He）,、氖氣（Ne）、氪氣（Kr）,、氙氣（Xe）等,； 2、氨氣（NH3）,、氯氣（Cl2）,、二氧化硫（SO2）、一氧化碳（CO）,、二氧化碳（CO2）,、二氧化氮（NO2）、氧化亞氮（N2O）、氧硫化碳（COS）,、氯化氫（HCl）,、溴化氫（HBr）、硫化氫（H2S）等,； 3,、（BF3）、三氯化硼（BCl3）,、四氟化碳（CF4）,、四氟化硅（SiF4）、 四氯化硅（SiCl4）,、六氟化硫（SF6）等
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