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產(chǎn)品特色

●  準(zhǔn)確,。流量測量具有NIST可溯源精度,，還可利用COMPOSER™氣體編輯器自定義您自己的氣體組成,。

●  使用簡單,。只要您打開氣體質(zhì)量流量計,，氣體質(zhì)量流量計便能顯示您所選工藝設(shè)備中的實時流量、壓力和溫度讀數(shù),。

●  連接,。艾里卡特氣體質(zhì)量流量計默認(rèn)采用數(shù)字與模擬兩種通訊方式；訂購時,，可選擇以太網(wǎng)/IP,、EtherCAT、DeviceNet,、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通訊,，方便與您的數(shù)字工業(yè)或?qū)嶒炇揖W(wǎng)絡(luò)整合。

ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量計20Q系列

精度升級

量程為10 SCCM - 3000 SLPM,，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,，下述指標(biāo)升級：

質(zhì)量流量普通精度          ± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程（取最大值）

測量范圍                        0.1 ~ 100%滿量程

重復(fù)性                           ± 0.1%滿量程

質(zhì)量流量零點漂移          ± 0.01%滿量程/ ℃溫差

                                     ± 0.01%滿量程/ Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移          ± 0.01%讀 數(shù)/ ℃溫差

                                     ± 0.1 %讀 數(shù)/ Atm壓力差

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈,、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體,，請參考背面氣體兼容表

                  一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量       程    從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM

測量范圍    0.5% ~ 100%滿量程

最大顯示流量    128%滿量程

顯 示  屏    帶背光按鍵,，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏,，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量,、壓力和溫度

精       度    ± 2%滿量程  精度升級部分見左下角

重  復(fù)  性    ± 0.2%滿量程

質(zhì)量流量零點漂移     ± 0.01%滿量程/ ℃（從25 ℃開始）

                                 ± 0.01%滿量程/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

質(zhì)量流量量程漂移     ± 0.01%讀數(shù)/ ℃（從25 ℃開始）

                                 ± 0.1 %讀數(shù)/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

響應(yīng)時間    優(yōu)于10 ms                     預(yù)熱時間    < 1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ± 0.75 ℃                       工作濕度    0 ~ 95%

最大工作壓力    320 psi絕壓

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率,；

                         模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸出信號    RS-232、RS-485,、Modbus,、

                         EtherNet IP、DeviceNet,、PROFIBUS

模擬輸出信號    0 - 5 VDC,、1- 5 VDC、0 -10 VDC,、4 - 20 mA

可選第二路模擬輸出    0-5 VDC,、1-5 VDC、0-10 VDC,、4-20 mA

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9 - 24 VDC （12 - 24 VDC用于4-20 mA輸出）

供電電流    40 mA （+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10 VDC）

電氣接口    DB9M,，可選DB15、6針工業(yè)接頭,、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）    選擇HLCP選項,，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He

材       質(zhì)     302，303，304,316L不銹鋼,、FKM氟橡膠,、陶瓷、硅橡膠,、

                  聚酰胺,、環(huán)氧樹脂、金,、硅,、玻璃。

                  如果您申請需要其它材料,，請聯(lián)系我們,。

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求                 防護等級    IP40

認(rèn)       證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證,、CE,、RoHS、REACH,、CSA （可選）