ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)

應(yīng)用及案例 

●  大學(xué)/研究所           ●  泄漏檢測(cè)
●  環(huán)境監(jiān)測(cè)                ●  真空行業(yè)及鍍膜
●  工業(yè)爐窯                ●  半  導(dǎo)  體
●  汽車制造                ●  光       伏
●  燃料電池                ●  計(jì)量校準(zhǔn)
●  過程工藝氣體測(cè)量

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)

產(chǎn)品特色 

●  數(shù)字化產(chǎn)品

●  多參數(shù)顯示和輸出：溫度,、壓力,、流量等

●  可選高精度：優(yōu)于0.5%讀數(shù)

●  可測(cè)范圍廣，0.01~100%滿量程

●  響應(yīng)時(shí)間快,，優(yōu)于10 ms

●  內(nèi)置98種氣體

●  可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分）,，并存儲(chǔ)20種混合氣

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈,、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體,，請(qǐng)參考背面

            一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量    程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM

測(cè)量范圍    0.01～100%滿量程

最大顯示流量    128 % 滿量程

顯 示 屏    帶背光燈按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏,，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量,、體積流量、壓力,、溫度

精    度    ± （0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）精度升級(jí)部分見左下角

            ± （0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）

累計(jì)流量精度    流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差

重 復(fù) 性    ± （0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移    0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

響應(yīng)時(shí)間    優(yōu)于10 ms （與流量相關(guān)）  

預(yù)熱時(shí)間    < 1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）    25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95%,，無冷凝

最大工作壓力    1 MPa 表壓（可選2 MPaG高壓系列）

最di操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPa以上使用,；

其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm）,，或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）

最大進(jìn)出口壓差    0.5MPa

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率；

                模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)    RS232,、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）,、Modbus TCP/IP,、

                     DeviceNet、EtherCAT,、EtherNet/IP,、Profibus

模擬輸入/輸出信號(hào)    0-5 VDC、1-5 VDC,、0-10 VDC,、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量,、壓力,、溫度

模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9-24 VDC （如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須為12 - 24VDC）

供電電流    40mA,，額外加 40 mA（ 4 - 20 mA或0-10VDC輸出）

電氣接口    DB9M,，可選DB15、6針工業(yè)接頭,、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項(xiàng),，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質(zhì)   302、303,、304,、316L不銹鋼、FKM,、硅橡膠,、環(huán)氧樹脂、聚酰胺,、玻璃,、硅,、金、陶瓷  

過程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝方式    對(duì)位置無要求

防護(hù)等級(jí)    IP40

認(rèn)    證    ISO 9001,、NIST溯源認(rèn)證,、CE、RoHS,、REACH,、CSA （可選）

精度升級(jí)

量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM，

其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段,，下述指標(biāo)升級(jí)：

質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01% 滿量程 / ℃（從 25 ℃開始）

± 0.01% 滿量程 / Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃（從 25 ℃開始）

± 0.1 % 讀數(shù) / Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

選項(xiàng)配件

●  標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測(cè)量參數(shù)：質(zhì)量流量,、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號(hào)接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸出
0-5Vdc,、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號(hào)輸出可選
內(nèi)置30種氣體可選
200:1量程可調(diào)比
NPT接頭
可測(cè)量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保

●  可選性能
高精度
累加器
6針,、DB9或DB15電信號(hào)接口
ProfiBUS數(shù)字信號(hào)輸出
RS-485數(shù)字信號(hào)輸出
4-20mA模擬信號(hào)輸出
第二種模擬信號(hào)輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠(yuǎn)程顯示屏
遠(yuǎn)程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠(yuǎn)程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC,、24VDC排氣量報(bào)警(過高或過低)
雙向流動(dòng)
額外標(biāo)定點(diǎn)
定制混個(gè)氣體（最多4種）
定制流量范圍