電容式壓力傳感器是以硅材料為基礎(chǔ)，采用電容原理,，即利用電容極間距變化將壓力轉(zhuǎn)換為電容變化,，由MEMS工藝制作的傳感器。菲格瑞思多功能變送器

硅電容壓力傳感器特性如下：

穩(wěn)定性好

　　硅電容壓力傳感器是一種結(jié)構(gòu)型傳感器,，稱重傳感器就檢測原理而言,，其穩(wěn)定性優(yōu)于物性型傳感器，從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)角度保證了該類傳感器的穩(wěn)定性,；結(jié)構(gòu)工藝采用全硬封固態(tài)工藝,，硅-玻璃-金屬導(dǎo)壓管采用靜電封接，減少了用膠封等引起的應(yīng)力,、滯遲和變差,；電容對溫度不靈敏，溫度附加誤差小,，不需象硅壓阻器件那樣進(jìn)行復(fù)雜的溫度補(bǔ)償,。穩(wěn)定性好是硅電容傳感器深受用戶好感的主要原因之一。

適合批量生產(chǎn),，成本低

　　硅電容壓力傳感器利用MEMS工藝制作,，芯片尺寸為3mm×3mm，一個4寸硅片可制作幾百個元件,。產(chǎn)品的工藝性好，性能一致,，適合批量生產(chǎn),，低成本運(yùn)行,。其制備工藝與IC工藝兼容，工藝裝備無須象硅諧振傳感器的工藝裝備那樣昂貴和復(fù)雜，也無須象金屬膜片電容傳感器那樣單件制作，保證了硅電容傳感器具有高的性能價(jià)格比。

　　電容傳感器本身具有小功率,、高阻抗,、靜電引力小,、可動質(zhì)量小,、發(fā)熱影響小的特點(diǎn),，并可進(jìn)行非接觸測量。硅電容傳感器綜合性能指標(biāo)如非線性,、過載,、靜壓、可靠性等性能優(yōu)于硅壓阻傳感器,、陶瓷電容傳感器,、金屬膜片電容傳感器,。它與硅諧振傳感器相當(dāng)，特別是用戶追求的非線性指標(biāo),，通常硅電容傳感器的非線性優(yōu)于0.05％FS的成品率大于60％。

　　主要問題

　　因其檢測原理是采用電容極間距變化，而這種極間距變化本身是非線性的，為了改善非線性，開發(fā)出較為復(fù)雜的芯體結(jié)構(gòu)，如接觸式,、變面積與變極距相串聯(lián)等結(jié)構(gòu)。位移傳感器另一個問題是要解決微弱電容信號的檢測問題,。

壓力傳感器是能感受壓力信號，并能按照一定的規(guī)律將壓力信號轉(zhuǎn)換成可用的輸出的電信號的器件或裝置,。通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成,。是工業(yè)實(shí)踐中為常用的一種傳感器,，其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電,、鐵路交通,、智能建筑、生產(chǎn)自控,、航空航天,、軍工、石化,、油井,、電力、船舶,、機(jī)床,、管道等眾多行業(yè)。

 HYDAC傳感器EDS344-3-250-000上?，F(xiàn)貨渠道,，*品質(zhì)有保證，非常適用于設(shè)置蓄能器充電功能或泵和壓縮機(jī)控制單元,，以及監(jiān)測船舶變速箱,，柴油發(fā)動機(jī)，泵和一般液壓和氣動設(shè)備的壓力或極限值,。

 HYDAC傳感器EDS344-3-250-000是一款緊湊型電子壓力開關(guān),，帶有集成數(shù)字顯示屏。有4種不同的輸出版本可供選擇：帶一個開關(guān)點(diǎn),，帶兩個開關(guān)點(diǎn)和相同的兩種型號,，另外還有一個額外的模擬輸出信號4 ... 20 mA。該設(shè)備提供了許多額外的設(shè)置參數(shù),，例如,，切換延遲時間，插座的開/關(guān)功能,。

 EDS344-3-250-000主要應(yīng)用是液壓和氣動領(lǐng)域的壓力和極限值信息,，或者高開關(guān)頻率或恒定開關(guān)精度高于機(jī)械壓力開關(guān)所能提供的任何地方。

賀德克傳感器常用型號：

賀德克傳感器EVS3108-H-0300-000

賀德克傳感器HDA4445-A-250-000

賀德克傳感器HDA4745-A-400-000

賀德克蓄能器SB330-50 2106252

賀德克傳感器ENS3218-5-0520-000-K

賀德克傳感器EDS346-3-400-000+ZEB01+ZBM300

賀德克插頭ZBE06-02

賀德克傳感器EDS3448-5-0016-000-F1

賀德克傳感器EDS3446-3-0400-000+ZBE06-05

賀德克傳感器EDS346-2-250-000+ZBE06

賀德克傳感器HDA4840-A-250-424

賀德克電磁閥WS10Z-01-C-N-24DG

賀德克傳感器EDS1791-N-250-000

賀德克發(fā)汛器VM 2 BM.1 (303194)

賀德克傳感器EDS3398-5-0016-V02-E1

賀德克傳感器ETS384-3-150-000

賀德克傳感器EDS344-3-400-000

賀德克壓力變送器VD5D. 0/-L24 AC/DC 15-30V

賀德克傳感器HDA7446-A-250-000

賀德克傳感器EDS3448-5-0250-000帶接頭

賀德克傳感器ETS-388-5-150-000

賀德克傳感器HDA4445-A-400-000

賀德克傳感器HDA4840-A-250-424(15m)

賀德克傳感器EDS345-1-400-000+ZBE01