壓阻式傳感器?

固體受到作用力后,，電阻率就要發(fā)生變化,，這種效應(yīng)稱為壓阻效應(yīng)。半導(dǎo)體材料的這種效應(yīng)特別強(qiáng),。利用半導(dǎo)體材料做成的壓阻式傳感器有兩種類型：一種是利用半導(dǎo)體材料的體電阻做成的粘貼式應(yīng)變片,；另一類是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成擴(kuò)散電阻，稱擴(kuò)散型壓阻傳感器,。壓阻式傳感器的靈敏系數(shù)大,，分辨率高。頻率響應(yīng)高,，體積小,。它主要用于測量壓力、加速度和載荷參數(shù),。?

因?yàn)榘雽?dǎo)體材料對溫度很敏感,，因此壓阻式傳感器的溫度誤差較大，必須要有溫度補(bǔ)償,。

壓阻式壓力傳感器組成

壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,，它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的,。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔,，另- -面是與大氣連通的低壓腔,。

硅膜片-般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20~60,。在圓形硅膜片N型定域擴(kuò)散4條P染質(zhì)電阻條,，并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū),，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū),，相對于膜片中心對稱。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某-晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條,，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。

壓力傳感器的種類繁多,，如電阻應(yīng)變片壓力傳感器,、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器,、電感式壓力傳感器,、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等,。但應(yīng)用較為廣泛的是壓阻式壓力傳感器,，它具有極低的價(jià)格和較高的精度以及較好的線性特性。這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,，制成硅壓阻芯片,，并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線,。

壓阻式壓力傳感器主要由固定在硅杯上的硅杯膜片和外殼組成,。硅膜片的上下有低壓腔和高壓腔，高壓腔通入被測壓力,，低壓腔與大氣相通,，檢測表壓力。也可以分別通入高,、低壓力,，檢測差壓力。在被測壓力或差壓作用下,，硅膜片產(chǎn)生應(yīng)變,，擴(kuò)散電阻的阻值隨應(yīng)變而變化。傳感器的外形結(jié)構(gòu)因被測質(zhì)性質(zhì)和測壓環(huán)境而有所不同,。由硅杯膜片構(gòu)成的壓力傳感器又稱為擴(kuò)散硅壓力傳感器,。

已經(jīng)出現(xiàn)的集成壓阻式壓力傳感器（又稱固態(tài)壓力傳感器），采用大規(guī)模集成電路技術(shù),，將擴(kuò)散電阻,、檢測放大電路,、溫度補(bǔ)儻電路乃至電源變換電路和微處理器集成在同一塊中晶硅膜片上，兼有信號檢測,、處理（放大,、運(yùn)算、補(bǔ)償）,、記憶功能,，從而大大地提高了傳感器的穩(wěn)定性和測量準(zhǔn)確度。

賀德克傳感器常用型號：

賀德克傳感器ETS386-3-150-Y00

賀德克傳感器EDS345-1-016-000

賀德克充氮工具FPU-1-250F2.5G11A3K

賀德克手持式測量儀HMG2500-000-E

賀德克傳感器EDS3446-2-0040-000

賀德克接頭ZBE02

賀德克傳感器HDA3840-A-350-Y24(6m電纜）升級型號HDA4840-A-350-424/6M電纜

賀德克傳感器EDS1791-P-600-009(450bar) (906201)

賀德克傳感器EDS3346-2-060-000-F1

賀德克傳感器ETS1701-100-000

賀德克傳感器HDA4744-B-100-000

賀德克傳感器EDS3446-1-0250-000

賀德克傳感器EDS348-5-016-000

賀德克傳感器EVS3108-H-0020-000

賀德克溫度開關(guān)TS-L-60/X/12FSK 3252752

賀德克溫度傳感器TYP904696 TFP104-000

賀德克壓力開關(guān)VD5LE.1

賀德克傳感器ETS1701-100-000+TFP104

賀德克傳感器HDA4745-B-250-000

賀德克溫度傳感器TFP-104-000

賀德克傳感器ETS 386-2-150-000

賀德克傳感器HDA4744-A-400-000+ZBE02

賀德克傳感器EDS 326-3-100-000