伺服閥按照輸出特性有流量控制閥,、壓力控制閥,、壓力—流量控制閥,；按結(jié)構(gòu)形式有滑閥,、噴嘴擋板閥和射流管閥等。

1.滑閥

1）滑閥的工作原理和結(jié)構(gòu)特性

     滑閥是常用的結(jié)構(gòu)形式,，它常用作工業(yè)伺服閥的前置級(jí)和所有伺服閥的功率級(jí),。滑閥按照外接油口的多少不同分為二通,、三通,、四通等；按照控制邊數(shù)的不同分為單邊,、雙邊和四邊滑閥,，其工作原理如圖7-3所示。其中圖7-3a為二通單邊滑閥,，圖7-3b為三通雙邊滑閥,，圖7-3c為四通四邊滑閥。閥芯的位移不同于液壓傳動(dòng)中開(kāi)關(guān)式換向閥,，而是雙向連續(xù)變化的,。基本功能是連續(xù)改變控制棱邊（節(jié)流口）的流通面積,，以改變進(jìn)入液壓缸（或執(zhí)行件）兩腔的壓力和流量，達(dá)到控制液壓缸輸出運(yùn)動(dòng)和動(dòng)力的目的,。

     閥的開(kāi)口形式對(duì)其控制性能影響很大,，尤其是在零位附近的特性。從圖7-4a可以看出,，負(fù)開(kāi)口滑閥在中間平衡位置時(shí),，四個(gè)節(jié)流口*被遮蓋，*切斷了油源和執(zhí)行件之間的通路,。閥芯需要左,、右移動(dòng)的距離后，才能將相應(yīng)的節(jié)流口打開(kāi),，才會(huì)有油液輸給執(zhí)行件,。所以在滑閥的位置－流量特性曲線上形成一段沒(méi)有油液輸出的非線性死區(qū),，靈敏度低，對(duì)于高精度的伺服閥控制系統(tǒng)是不應(yīng)該使用這類結(jié)構(gòu)的伺服閥,。但這種結(jié)構(gòu)的伺服閥制造容易,，成本低，可以在工作過(guò)程的任何位置上可靠地停止,，所以在手動(dòng)伺服閥或比例控制系統(tǒng)中還選用這種閥,。圖7-4b是零開(kāi)口閥，其位置－流量特性曲線是線形的,，控制性能好,，靈敏度高。實(shí)際上閥總存在徑向間隙,，節(jié)流工作邊有圓角,，有一定的泄漏，要求零位泄漏越小越好,，但制造工藝復(fù)雜,，成本高。圖7-4c是正開(kāi)口閥,，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，但是液體無(wú)功損耗比較大。

      滑閥的三個(gè)特性系數(shù)在確定系統(tǒng)的穩(wěn)定性,、響應(yīng)特性和穩(wěn)態(tài)誤差時(shí)非常重要,。流量增益直接影響系統(tǒng)的開(kāi)環(huán)增益，因而對(duì)系統(tǒng)的穩(wěn)定性有直接的影響,；流量壓力系數(shù)直接影響閥控液壓馬達(dá),、液壓缸系統(tǒng)的阻壓比；壓力增益表明液壓動(dòng)力機(jī)構(gòu)啟動(dòng)大慣性和大摩擦負(fù)載的能力,。

     需要說(shuō)明的是滑閥的特性系數(shù)是隨工作點(diǎn)的變化而變化的,。流量－壓力曲線在原點(diǎn)處的閥系數(shù)稱零點(diǎn)閥系數(shù)，也稱零位工作點(diǎn),，因?yàn)殚y經(jīng)常在原點(diǎn)附近工作,，因此是滑閥重要的工作點(diǎn)。此處閥的流量增益最大,，系統(tǒng)的開(kāi)環(huán)增益最高,；壓力－流量系數(shù)最小，系統(tǒng)的阻尼低,。如果系統(tǒng)在該點(diǎn)是穩(wěn)定的,，在其它點(diǎn)必然是穩(wěn)定的?；y的優(yōu)點(diǎn)是壓力增益可以很高,，通過(guò)的流量可以很大,，特性易于計(jì)算和控制，抗污染性能較好,。缺點(diǎn)是配合公差要求嚴(yán)格,，制造成本高，作用在閥芯上的力較多,、較大且變化,，要求較大的控制力。做前置級(jí)時(shí),，動(dòng)態(tài)響應(yīng)較低,。

2.噴嘴擋板閥

     噴嘴擋板閥的工作原理如圖7-8所示。噴嘴擋板閥主要由節(jié)流口1,、噴嘴2,、擋板3組成。具體結(jié)構(gòu)可分為單噴嘴擋板閥和雙噴嘴擋板閥,，噴嘴和擋板之間形成一個(gè)可變的節(jié)流口,，擋板的位置由輸入信號(hào)控制，由于擋板的位移較小,，擋板的轉(zhuǎn)角也非常小,，可以近似地按照平移的方式處理?yè)醢迮c噴嘴之間的位移。

雙噴嘴擋板閥如圖7-8b所示,，它相當(dāng)于兩個(gè)單噴嘴擋板閥的并聯(lián)結(jié)構(gòu),，其工作原理基本與單噴嘴擋板閥相同，但其所控制的負(fù)載形式有所不同,，常用于對(duì)稱結(jié)構(gòu),，如雙出桿液壓缸。雙噴嘴擋板閥由于結(jié)構(gòu)對(duì)稱而具有的優(yōu)點(diǎn)是：溫度和供油壓力變化導(dǎo)致的零漂小,，即零位點(diǎn)的工作漂移?。粨醢逅艿囊簞?dòng)力小,，在零位時(shí)的液動(dòng)力平衡,；壓力－流量曲線的對(duì)稱性和線性度好，壓力控制敏感度比單噴嘴擋板閥大一倍,。

     噴嘴擋板閥的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、公差較大,；特性可預(yù)測(cè),；無(wú)死區(qū)、無(wú)摩擦副,，靈敏度高,；擋板慣性很小,，所需的控制力小，動(dòng)態(tài)響應(yīng)高,。其缺點(diǎn)是抗污染性能差,，要求很高的過(guò)濾精度；零位泄露量大,，功率損耗大,，效率低，通常作伺服閥的前置放大級(jí),。

3.射流管閥

      射流管閥工作原理如圖7-9所示,，它由射流管接收器組成。射流管閥不是采用節(jié)流的方式,，而是靠能量分配和轉(zhuǎn)換實(shí)現(xiàn)控制的,，能量的分配是靠改變射流管與接收器的相對(duì)位置實(shí)現(xiàn)的。射流管一般做成收縮形或拉瓦爾管形,，當(dāng)流體流經(jīng)射流管時(shí),，將壓力轉(zhuǎn)換成動(dòng)能射入接收器，接收器是一個(gè)擴(kuò)張管,，液流流經(jīng)后減速擴(kuò)壓,，使進(jìn)入的流體恢復(fù)其壓力能。當(dāng)射流管位于接收器的兩個(gè)接收通道之間時(shí),，兩個(gè)接收通道內(nèi)壓力相等,，液壓缸兩腔壓力相等，活塞保持位置不變,；假如當(dāng)射流管向左偏移時(shí),，左側(cè)接收孔道內(nèi)的壓力大于右側(cè)接收孔道內(nèi)的壓力，使液壓缸左移,，同時(shí)接收器也和液壓缸一起移動(dòng),，直到射流管又位于兩個(gè)接收孔道中間位置為止；反之亦如此。液壓缸的移動(dòng)方向由控制信號(hào)的方向決定,，液壓缸移動(dòng)速度的快慢由控制信號(hào)的大小決定,。

射流管閥的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造成本低廉,；噴口較大，流量較大,；抗污染能力很好,，可靠性很高；無(wú)死區(qū)，轉(zhuǎn)動(dòng)摩擦小,，靈敏度高,；壓力恢復(fù)系數(shù)和流量恢復(fù)系數(shù)較大，效率較高,。缺點(diǎn)是射流管慣性較大,，動(dòng)態(tài)響應(yīng)較低；特性不易預(yù)測(cè),，設(shè)計(jì)時(shí)要靠模型試驗(yàn),。適用于中、小功率控制系統(tǒng)或伺服閥的前置級(jí),。

MOOG伺服閥常用型號(hào)：

MOOG伺服閥D061-9310

MOOG伺服閥D673-0001-0000     

MOOG伺服閥D633-7414      

MOOG伺服閥D661－4539C

MOOG伺服閥G631-3002B      

MOOG伺服閥D792-4005      

MOOG伺服閥D792-4007      

MOOG伺服閥D661-4697C G15JOAA5VSX2HA     

MOOG伺服閥D661-6460C/G35HOAA4VSX2

MOOG伺服閥G761-3002B

MOOG伺服閥D663-5002   L03HYAO6NSA0-P       

MOOG伺服閥D661-4506C/G35KOAA6VSX2HA

MOOG伺服閥D662Z4336K P01JXMF6VSX2-A       

MOOG伺服閥D634-319-C-24V

MOOG伺服閥D791-4038 S16JXQB6VSX2-B

MOOG伺服閥D664-4714 L05HDBM6NSF2-0        

MOOG伺服閥D662Z1931E D01HXBAFNSA0         

MOOG伺服閥G761-3602        

MOOG伺服閥D661-4636       G60KOAA5VSX2HA

MOOG伺服閥D633-313B-R16KO1M0NSM2

MOOG伺服閥D661-4594C G75KXAA5VSX2H

MOOG伺服閥D792-4036      

MOOG伺服閥D661-4586E              G45KOCB5VSX2HA

MOOG伺服閥D791-5040 S16JOQA4USBOP 

MOOG伺服閥D663-344K   P03HYMOFNSA0         

MOOG伺服閥D633K2025B Type:R16KO1M0NWM2

MOOG伺服閥D661-4650 G60KXAA5NSM2HA      

MOOG伺服閥D661-4598C    G45H0AA6VSX2HA

MOOG伺服閥D661-4651 G35JOAA6VSX2HA        

MOOG伺服閥D663-1922E-4 L03HABAEVSB0       

MOOG伺服閥D662-4036 D02HXBO6NSF2-A