熱式質(zhì)量流量計是利用流體流過外熱源加熱的管道時產(chǎn)生的 溫度場變化來測量流體質(zhì)量流量，或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質(zhì)量之間的關系來測量流體質(zhì)量流量的一種流量儀表,。它具有壓損小,，流量范圍度大,，高精度，高重復性,，高可靠性,，體積小，易維護不易損壞等特點,。
與其他形式的質(zhì)量流量計相比較,，熱式質(zhì)量流量計能夠測量較低流速的微小流量。它的結構中不存在可動部件,，可靠性高。如無分流管的熱分布流量計沒有阻流元件,，測量不會引起壓力損失,；帶分流管的熱分布式或侵入式流量計雖有阻流件，但壓力損失很小,。
熱式質(zhì)量流量計由傳感器和信號分析,、處理與控制單元兩部分構成。傳感器一部分測量溫度,，而另一部分用于加熱,。前者監(jiān)控實際過程溫度值；后者維持一恒定溫度值,，使其總是高于實際過程溫度且與該過程溫度保持恒定的溫度差,。氣體的質(zhì)量流量越大，冷卻效應就越大,，維持差分溫度所需的能量也就越大,。因此，通過測量加熱器的能量便可得出被測氣體的質(zhì)量流量,。
科威勒提供的FGM210熱式質(zhì)量流量計是采用*流量傳感器芯片,，結合 32位高速數(shù)字處理電路、高精密算法以及注塑的旁通流道和本體設計,，所開發(fā)的大量程,、高可靠的傳感器微系統(tǒng)模組，具有低功耗(典型80mW),、大量程10-300SLM,、快速響應(典型5ms)等優(yōu)點。高性能流量傳感器芯片以及核心標定算法技術,，配合多種不同流道設計,，具有可靠的長期穩(wěn)定性。
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