熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是依據(jù)吸收熱的速度直接與質(zhì)量流量相關(guān)的原理，該儀表的傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻（鉑RTD）組成,。一個(gè)是質(zhì)量速度傳感器T1,，一個(gè)是測量氣體溫度變化的溫度傳感器T2。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測氣體中時(shí),，其中傳感器T1被加熱到氣體溫度以上的一個(gè)恒定的溫差,，另一個(gè)傳感器T2用于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體質(zhì)量流速的增加,，氣流帶走更多熱量,傳感器T1的溫度下降,，要維持T1、T2恒定的溫度差,，T1的加熱功率就要增大,。根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律。移動(dòng)的氣體分子撞擊熱電阻時(shí)吸收帶走熱量,，流量越大,，接觸熱電阻的分子越多，吸收的熱量越多,，熱吸收與某種氣體的分子數(shù),，熱學(xué)特性和流動(dòng)特性有關(guān)。
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