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敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
光波穿過掃描掩膜時(shí),，將光波衍射為光強(qiáng)近似的三束光：+1、0和-1,。在被光柵尺衍射的光波中,，在反射的衍射光中，光強(qiáng)至強(qiáng)的光束為+1和-1,。這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇,，再一次被衍射和干涉。也形成三束光,，并以不同的角度離開掃描掩膜,。光電池將這些交變的光強(qiáng)轉(zhuǎn)化成電信號(hào)。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
可靠性
海德漢公司的敞開式直線光柵尺特別適用 于高速和精密機(jī)床,。盡管機(jī)械結(jié)構(gòu)是敞開 式的,，但這些光柵尺擁有較強(qiáng)抗污能力， 能確保優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,，而且安裝簡(jiǎn)單 快捷,。
抗污染能力強(qiáng)
高質(zhì)量的光柵和掃描方式是直線光柵尺高 精度和可靠工作的保證。海德漢敞開式直 線光柵尺采用單場(chǎng)掃描原理,，由單一的大 型掃描場(chǎng)生成掃描信號(hào),。測(cè)量基準(zhǔn)上的的 局部污染（例如安裝過程中的手指印或?qū)?軌的油滴污染）只影響信號(hào)分量光強(qiáng),，因 此等量地影響掃描信號(hào),。盡管這樣的污染 造成輸出信號(hào)改變，但其偏移和相位不受 影響,。這些信號(hào)可高倍頻地細(xì)分,，單信號(hào) 周期內(nèi)的位置誤差極小。
而且,，大面積掃描場(chǎng)還能降低對(duì)污染的敏 感性,。根據(jù)污染性質(zhì)，該功能甚至可以避 免光柵尺失效。LIDA 400和LIF 400尤其如 此,，這兩款光柵尺相對(duì)其柵距都擁有較大 的掃描場(chǎng)（14.5 mm2 ）,。LIC 4100同樣如 此，其掃描面積達(dá)15.5 mm2 ,。即使是打 印墨粉,、印刷電路板粉塵、直徑3 mm以 內(nèi)的水滴或油滴,，這些光柵尺仍提供高質(zhì) 量信號(hào),。位置誤差遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于光柵尺精度等 級(jí)對(duì)應(yīng)的誤差值。
LIDA,、LIC,、LIF和LIP 6000直線光柵尺配 海德漢HSP 1.0信號(hào)處理的ASIC處理 器。ASIC連續(xù)監(jiān)測(cè)掃描信號(hào)并幾乎*地 補(bǔ)償信號(hào)幅值的波動(dòng),。如果掃描掩膜或測(cè) 量基準(zhǔn)污染導(dǎo)致信號(hào)幅值減小,，ASIC提高 LED電流進(jìn)行響應(yīng)。即使高穩(wěn)定性的信 號(hào),，也能確保LED光強(qiáng)的增加只提高噪音 水平,。因此，污染只輕微影響細(xì)分誤差和 位置噪音,。
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
LIDA 475,，LIDA 485
增量式直線光柵尺，測(cè)量長(zhǎng)度長(zhǎng)達(dá)30 m
• 測(cè)量步距達(dá)10 nm
• 自帶限位開關(guān)
• 易于安裝,，配鋁制底座
• 直線光柵尺和讀數(shù)頭配套使用
