敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺

測(cè)量精度

直線測(cè)量精度主要取決于

• 光柵質(zhì)量，

• 光柵基體質(zhì)量,，

• 掃描質(zhì)量,，

• 信號(hào)處理電子電路質(zhì)量和

• 光柵尺在機(jī)床內(nèi)的安裝情況。

可將這些因素細(xì)分為特定編碼器的位置誤 差和應(yīng)用相關(guān)的因素,。為評(píng)估可獲得的系 統(tǒng)精度,，必須綜合考慮各項(xiàng)因素中每一 項(xiàng)。

特定光柵尺位置誤差

特定光柵尺位置誤差包括

• 測(cè)量基準(zhǔn)的精度,，

• 細(xì)分精度,，和

• 位置信號(hào)噪音。 測(cè)量基準(zhǔn)的精度 測(cè)量基準(zhǔn)的精度主要取決于

• 光柵的均勻性和柵距定義,，

• 光柵與其基體找正情況,，和

• 光柵基體的穩(wěn)定性。

測(cè)量基準(zhǔn)的精度由未補(bǔ)償?shù)幕€誤差大 值表示,。在理想條件下,，用批量生產(chǎn)的讀 數(shù)頭測(cè)量位置誤差，用于確定該精度,。測(cè) 量點(diǎn)之間的距離等于信號(hào)周期的整數(shù)倍,。 因此，細(xì)分誤差無(wú)影響,。

精度等級(jí)a決定長(zhǎng)度不超過(guò)一米的長(zhǎng)度范 圍內(nèi)基線誤差上限,。對(duì)于特殊光柵尺，還 提供已定義的測(cè)量基準(zhǔn)間距的基線誤差,。

細(xì)分精度

細(xì)分精度主要受以下因素影響

• 信號(hào)周期大小,，

• 光柵的均勻性和柵距定義，

• 掃描掩膜質(zhì)量,，

• 傳感器特性,，及

• 信號(hào)處理質(zhì)量。

細(xì)分精度由大批量生產(chǎn)的測(cè)量基準(zhǔn)確定,， 并用細(xì)分誤差的大典型值u表示,。帶模 擬接口的光柵尺用海德漢電子設(shè)備（例如 EIB 741）測(cè)試。該大值不含位置信號(hào)噪 音,，并將其標(biāo)注在技術(shù)參數(shù)中,。

細(xì)分誤差在非

敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺

LIDA 479，LIDA 489

增量式直線光柵尺,，測(cè)量范圍可達(dá)6 m

• 測(cè)量步距達(dá)10 nm

• 自帶限位開關(guān)

• 鋼尺帶粘結(jié)在安裝面上

• 尺帶和讀數(shù)頭配套使用