敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺LIC 4117,，LIC 4197

式直線光柵尺，測量長度達(dá)6 m

• 測量步距達(dá)1 nm

• 將鋼尺帶穿入鋁殼中并在中間位置固定

• 直線光柵尺和讀數(shù)頭配套使用

超高精度

HEIDENHAIN直線光柵尺的突出特點(diǎn)是極小 測量步距,、高精度和高重復(fù)精度,。掃描方 式為干涉掃描，測量基準(zhǔn)為OPTODUR相 位光柵,。

高精度

LIF敞開式直線光柵尺采用干涉掃描原 理,，測量基準(zhǔn)為SUPRADUR光柵。其特點(diǎn) 是高精度和高重復(fù)精度,，特別易于安裝,， 并帶限位開關(guān)和回零軌。特殊型號(hào)的LIF 481 V可用于真空度達(dá)10–7毫巴的高真空度 應(yīng)用（參見其單獨(dú)的“產(chǎn)品信息”資料）,。

高運(yùn)動(dòng)速度

敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺設(shè)計(jì)用于高速運(yùn) 動(dòng),，至高速度達(dá)10 m/s。多種安裝方式使 其特別易于靈活地部署,。多種版本可供選 擇,，例如鋼尺帶、玻璃或玻璃陶瓷基體的 METALLUR光柵,。也可帶限位開關(guān),。

二維光柵尺

PP二維光柵尺的測量基準(zhǔn)為干涉掃描的、 由DIADUR工藝制造的平面二維光柵,。因 此可測量平面中的位置,。

用在真空環(huán)境中的光柵尺 海德漢的標(biāo)準(zhǔn)光柵尺適用于一般或中等真 空應(yīng)用。如果用于高真空和超高真空環(huán)境 中，光柵尺必須滿足特殊要求,。在選擇光 柵尺的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材質(zhì)中,，必須特別滿足 這些條件的要求。更多信息,，請(qǐng)參見真空 應(yīng)用的直線光柵尺“技術(shù)信息”資料,。

以下敞開式直線光柵尺于高真空度或 超高真空度的應(yīng)用： • 高真空度：LIP 481V和LIF 481V • 超高真空度：LIP 481U 更多信息，請(qǐng)參見相應(yīng)的“產(chǎn)品信息” 資料