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鄭州十萬級(jí)無塵車間
  • 鄭州十萬級(jí)無塵車間

貨物所在地:河南鄭州市

更新時(shí)間:2025-01-09 11:05:16

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無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定,。也就是說所謂無塵并非沒有一點(diǎn)灰塵,,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小得微乎其微,,但是對(duì)于一些精密產(chǎn)品生產(chǎn),比如光學(xué)行業(yè)而言,,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響,,所以在光學(xué)行業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求,。鄭州十萬級(jí)無塵車間

無塵室的建設(shè)及驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)

一,、無塵室的定義

無塵室(Clean Room)是指空氣無塵度達(dá)到規(guī)定級(jí)別的受控空間。其功能是把空氣中的微粒子,、有害空氣,、等污染物排除室外,并將室內(nèi)的無塵度,、溫度,、濕度、室內(nèi)壓力,、氣流速度與氣流分布,、噪音、振動(dòng),、照明及靜電控制在某一需求范圍內(nèi),。無塵室主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸的空氣的無塵度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造,,此空間我們稱之為無塵室。按照*慣例,,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定,。也就是說所謂無塵并非沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上,。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小得微乎其微,,但是對(duì)于一些精密產(chǎn)品生產(chǎn),比如光學(xué)行業(yè)而言,,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響,,所以在光學(xué)行業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求,。鄭州十萬級(jí)無塵車間

二,、無塵室的結(jié)構(gòu)組成

無塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室:

(1)天花板系統(tǒng):包括吊桿,、綱梁(I-BeamU-Beam),、天花板格子梁,;

(2)空調(diào)系統(tǒng):包括空調(diào)機(jī)組、過濾器系統(tǒng),、通風(fēng)管道等,;     

(3)隔墻板:包括窗戶、門,;

(4)地板:包括高架地板或防靜電舒美地板,;          

(5)照明器具:包括潔凈燈、殺菌燈等,;

無塵室之建筑主體構(gòu)造,,一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構(gòu)造,,必須滿足如下之條件:

A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕,;    B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子,;

C.吸濕性?。?                         D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,,熱絕緣性要高,;

以上信息概括為:①組合式FFU機(jī)組 ②無塵送風(fēng)管道 ③無塵回風(fēng)管道 ④送風(fēng)靜壓箱 ⑤過濾器 ⑥多孔擴(kuò)散板⑦無塵室吊頂 ⑧無塵室隔斷  ⑨送風(fēng)口 ⑩新風(fēng)口

三,、無塵室的等級(jí)

1,、無塵室等級(jí)世界各國均有自定規(guī)格,但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多,,以下僅就209D209E和世界上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較,。

2209E209D等大的不同在于209E表示單位增加了公制單位,,無塵室等級(jí)以‵M′字頭表示,,如M1M1.5,、M2.5,、M3..依此類推,配合*公制單位的標(biāo)準(zhǔn)化,,M字母后的阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm的微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示,,取指數(shù)為的,若微塵粒子數(shù)介于前后二者*冪次方的間,,則以1.5,、2.53.5.表示,。

3,、美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英呎為單位,,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,,以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn),。日本標(biāo)準(zhǔn)的表示法以Class 1Class 2,,Class 3……Class8表示,,好的等級(jí)為Class 1,差則為Class 8,,以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方,,取其指數(shù)而得,。

四,、無塵室控管的項(xiàng)目

1. 能除去空氣中飄游的微塵粒子。2. 能防止微塵粒子的產(chǎn)生,。3. 溫度和濕度的控制,。4. 壓力的調(diào)節(jié)。5. 有害氣體的排除,。6. 結(jié)構(gòu)物與隔間的氣密性,。7. 靜電的防制。8. 電磁干擾預(yù)防,。9. 安全因素的考慮,。10. 節(jié)能的考量

五、無塵室之分類

5.1 亂流式(Turbulent Flow)

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入無塵室,,并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng),。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無塵室等級(jí)1,000-100,000級(jí),。

  優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單,、系統(tǒng)建造成本,無塵室之?dāng)U充比較容易,,在某些用途場(chǎng)所,,可并用無塵工作臺(tái),提高無塵室等級(jí),。

缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活,,欲達(dá)需求之無塵度,,往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。

5.2 層流式(Laminar)

層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形,,空氣由覆蓋率之過濾器進(jìn)入室內(nèi),,并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),,此型式適用于無塵室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用,一般其無塵室等級(jí)為Class 1~100,。其型式可分為二種:

(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,,由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重,。

優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定,。

缺點(diǎn):建造費(fèi)用比亂流式高,,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

(2)垂直層流式:房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋,,空氣由上往下吹,,可得較高之無塵度,在制程   中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域,。

優(yōu)點(diǎn):管理容易,運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),,不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響,。

缺點(diǎn):構(gòu)造費(fèi)用較高,彈性運(yùn)用空間困難,,天花板之吊架相當(dāng)占空間,,維修更換過濾器較麻煩。

5.3 復(fù)合式(Mixed Type)

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,,可提供局部超無塵之空氣,。

(1)無塵隧道(Clean Tunnel):以HEPAULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使無塵度等級(jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用,。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式,。

無塵隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易,; B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

(2)無塵管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,,將無塵度等級(jí)提至100級(jí)以上,。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之無塵度,,可節(jié)省能源,,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品,、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用,。

(3)并裝局部無塵室(Clean Spot):將無塵室等級(jí)10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的無塵度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上,,以為生產(chǎn)之用;無塵工作臺(tái),、無塵工作棚,、無塵風(fēng)柜即屬此類。

無塵工作臺(tái):等級(jí)Class 1~100級(jí),。

無塵工作棚:為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,,采用立之HEPAULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較之無塵空間,其等級(jí)為10~1000級(jí),,高度在2.5米左右,,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動(dòng)輪,,可為彈性運(yùn)用,。

六、無塵室氣流之流動(dòng)

 無塵室的無塵度往往受到氣流的影響,,換言之,,即人,、機(jī)器隔間,、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配,。

無塵室系利用HEPA,、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈,。然而無塵室內(nèi)除了人以外,尚有機(jī)器等之發(fā)塵源,,這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散,,即無法保持無塵空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外,。

無塵室內(nèi)的氣流是左右無塵室性能的重要因素,,一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域,,易受人,、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持無塵度,、但因風(fēng)速的提高,,將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加,所以應(yīng)在滿足要求的無塵度水準(zhǔn)之時(shí),,能以適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),,以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果,。

另一方面欲達(dá)到無塵室無塵度之穩(wěn)定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,,均一氣流若無法保持,,表示風(fēng)速有異,特別是在壁面,,氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用,,此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高無塵度事實(shí)上很困難。

垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異,;(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異,。速度過低或過高(0.2m/s0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,,而0.5m/s之速度,,氣流則較均一,目前一般無塵室,,其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間,。

影響無塵室的氣流因素很多,如制程設(shè)備,、人員,、無塵室組裝材、照明器具等,,同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),,亦應(yīng)列入考慮因素。

一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn),,應(yīng)設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處,,如此可使作業(yè)人員工作時(shí),氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),,而將微塵帶走,;若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方,將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?,此時(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后,,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺(tái)因而將受到污染,,良率也勢(shì)必降低,。

無塵室內(nèi)的工作桌等障礙物,在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生,,相對(duì)地在其附近之無塵度將會(huì)較差,,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現(xiàn)象減少低;組裝材料之選擇是否恰當(dāng),、設(shè)備布局是否完善,,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

七,、無塵室工程施工

1.無塵室施工應(yīng)在土建工程完成,,清潔好現(xiàn)場(chǎng)后進(jìn)行

2.無塵室施工應(yīng)按一定程序進(jìn)行,就避免系統(tǒng)安裝時(shí)的帶塵作業(yè),,安裝過濾器或送風(fēng)末端時(shí),,必須避免帶塵作業(yè)。

3.無塵室施工程序見下圖(其他用房可參照此程序),。

4.施工安裝過程中必須隨時(shí)做好以下記錄

(1)土建隱蔽工程記錄 (2)管線隱蔽工程系統(tǒng)封閉記錄 (3)設(shè)備開箱檢查記錄 (4)管道壓力試驗(yàn)記錄(5)管道純氣系統(tǒng)吹洗記錄 (6)風(fēng)管漏風(fēng)檢查記錄 (7)風(fēng)管清掃記錄 (8)設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄(9)系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄(10)中間驗(yàn)收單

,、無塵車間設(shè)計(jì)及驗(yàn)收規(guī)范

無塵車間設(shè)計(jì)內(nèi)容有:

1. 合理布置工藝流程和建筑平面;

2. 選擇滿足無塵車間特點(diǎn)的建筑構(gòu)造和材料,;

3. 無塵車間設(shè)計(jì)應(yīng)依據(jù)當(dāng)時(shí)當(dāng)?shù)氐哪茉垂?yīng)背景,,選定可靠和經(jīng)濟(jì)的冷、熱源,;

4. 劃分和布置空調(diào)凈化和排風(fēng)系統(tǒng),;

5. 選擇合理的空氣凈化通風(fēng)設(shè)備;

無論是新建還是重新改造的無塵車間,,都一定依照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),、規(guī)范進(jìn)行。

無塵車間作為一個(gè)“受控環(huán)境”,,具有不同于其他建筑工程的特點(diǎn),,盡管任何建筑工程都包括設(shè)計(jì),、竣工驗(yàn)收,、日常維護(hù)等環(huán)節(jié),但是無塵車間還需要通過調(diào)試,、檢測(cè)和綜合評(píng)價(jià)予以確認(rèn),,絕不可草率行事,匆匆投入運(yùn)營,。鄭州十萬級(jí)無塵車間

 

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