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更新時(shí)間:2024-11-16 21:00:07
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一、空氣潔凈度的意義
隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展,,對(duì)實(shí)驗(yàn),、研究和生產(chǎn)的環(huán)境要求越來(lái)越高,因而調(diào)節(jié)坐氣品質(zhì)的技術(shù)一一空氣調(diào)節(jié)技術(shù)的內(nèi)容也隨之逐步擴(kuò)大?,F(xiàn)代空調(diào)技術(shù)不僅包含調(diào)節(jié)空氣的溫度,、濕度和速度的概念,而且還包含了調(diào)節(jié)其潔凈度,、壓力以至成分,、氣味的概念。
現(xiàn)代化的科學(xué)實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)活動(dòng)對(duì)空氣潔凈度的要求主要是從下述四方面提出來(lái)的,。
一,,加工的精密化。現(xiàn)代化產(chǎn)品的加工精度已經(jīng)進(jìn)入到亞微米量級(jí),,而且正在向更小的量級(jí)發(fā)展,。以半導(dǎo)體工業(yè)來(lái)說(shuō),早已采用了分子束外延技術(shù),,可按一個(gè)原子層來(lái)生長(zhǎng)單晶材料;利用離子束刻蝕技術(shù)也可以對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行一個(gè)原子的刻蝕剝離等,。
二,產(chǎn)品的微型化,。半導(dǎo)體元件越來(lái)越小,,集成度越來(lái)越高。超大規(guī)模集成電路可在30mm30mm的芯片上集成上億個(gè)以上的元件,。原來(lái)體積為幾千立方厘米的電子裝配件,,已縮小到零點(diǎn)幾立方厘米,。光致抗蝕劑層厚度也只有0.2gm,膜的深度只有0.1m,,而鉻層甚至只有0.03m,。目前,半導(dǎo)體集成電路的圖形線(xiàn)距已小到0.1m以下,。
三,,產(chǎn)品的高純度(或高質(zhì)量)。現(xiàn)代許多產(chǎn)品,,其純度已由過(guò)去認(rèn)為很純的“化學(xué)純”時(shí)代進(jìn)入了今天的“電子純”或“超純”時(shí)代,。例如,超大規(guī)模集成電路所用的硅單晶材料可達(dá)到13個(gè)“9”的超高純度,,集成電路生產(chǎn)環(huán)境中的化學(xué)污染物含量要求小于10-2(容積的百分比達(dá)到10-12),。又如不能滅菌不能過(guò)濾的藥液還必須無(wú)菌。對(duì)這些材料之所以有這樣高的要求,,是因?yàn)橹挥性跐崈舡h(huán)境下生產(chǎn)和使用,才可能充分發(fā)揮這些材料的固有特性,、作用或使其呈現(xiàn)出新的特性來(lái),。
第四,產(chǎn)品的高可靠性,。對(duì)于自動(dòng)化,、信息化時(shí)代的產(chǎn)品,其高可靠性是現(xiàn)代技術(shù)發(fā)展的迫切需要,,是準(zhǔn)確性和高準(zhǔn)確性的需要,,是長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行和*保證率的需要,今天更突顯高安全性的需要,。例如藥品,、食品的生產(chǎn),對(duì)無(wú)菌動(dòng)物的詞育,,對(duì)病原體,、腫病毒等危險(xiǎn)性生物的實(shí)驗(yàn)加工過(guò)程,都要確保產(chǎn)品的高可靠性和人的安全無(wú)菌操作以及保護(hù)自然界的生態(tài)環(huán)境,,這里,,潔凈技術(shù)和工程都起到十分重要的作用。
顯然在上述情況中,、如果有微粒(固態(tài)的或者液態(tài)的)進(jìn)入產(chǎn)品,,這種微粒就可能構(gòu)成障、短路,、雜質(zhì)源和在缺陷,。上述四種要求越高,,則允許存在于環(huán)境空氣中的微粒數(shù)量越少,也就是潔凈程度越高,。因此,,潔凈室技術(shù)已成為科學(xué)實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)活動(dòng)現(xiàn)代化的標(biāo)志之一。
二,、潔凈室的概念
空氣潔凈度是指潔凈環(huán)境中空氣含塵(微粒)量多少的程度,。含塵濃度高則潔凈度低,含塵濃度低則潔凈度高,。
空氣潔凈度本身是無(wú)量綱的,。但是,空氣潔凈度的高低可用空氣潔凈度級(jí)別來(lái)區(qū)分,??諝鉂崈舳燃?jí)別則以每立方米空氣中的大允許微粒數(shù)來(lái)確定。過(guò)去,,空氣潔凈度級(jí)別一直用操作時(shí)間內(nèi)空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來(lái)表示,,即所謂動(dòng)態(tài)級(jí)別,自從美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209C開(kāi)始,,級(jí)別本身才和狀態(tài)脫鉤,。亳州無(wú)塵室凈化裝修
三、無(wú)塵車(chē)間空氣凈化
(1),、無(wú)塵車(chē)間內(nèi)有多種工序時(shí),,應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求,采用不同的空氣潔凈度等級(jí),。
(2),、在滿(mǎn)足人生產(chǎn)工藝要求的前提下,潔凈廠(chǎng)房的氣流組級(jí)別,,宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式,。
(3)、層流潔凈廠(chǎng)房和亂流潔凈廠(chǎng)房以及運(yùn)行班次和使用時(shí)間不同的潔凈廠(chǎng)房,,其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開(kāi)設(shè)置,。
(4)、無(wú)塵車(chē)間內(nèi)應(yīng)保證一定的新鮮空氣量,,其數(shù)值頻取下列風(fēng)量中的大值,;亂流潔凈廠(chǎng)房總送風(fēng)量的10%~30%,層流潔凈廠(chǎng)房總送風(fēng)量的2~4%,;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量,;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40立方米。
(5),、潔凈區(qū)的清掃,,宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器或設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng),。潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道,應(yīng)暗敷,。
(6),、在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中,對(duì)施工和維護(hù)管理要求,。
四,、凈化空調(diào)與一般空調(diào)的區(qū)別
1.空氣過(guò)濾方面
一般空調(diào)采用一級(jí),多二過(guò)濾,,過(guò)濾器不設(shè)在末端,,沒(méi)有亞高效以上過(guò)過(guò)濾器;而凈化空調(diào)系統(tǒng)必須設(shè)三級(jí)至四級(jí)過(guò)濾器,,末端設(shè)過(guò)濾器,,必須有亞高效以上過(guò)濾器,因此,,室內(nèi)含塵濃度少也要差幾十倍,。
2.氣流組織方面
一般空調(diào)為了以較少的通風(fēng)量達(dá)到盡可能提高室內(nèi)溫濕度場(chǎng)均勻度的目的,用亂流度大的氣流組織形式,,盡量在室內(nèi)造成二次誘導(dǎo)氣流和某些向上的氣流,。而凈室正好相反,要盡量限制和減少塵粒的擴(kuò)散,,盡可能使由于各種原因產(chǎn)生的塵粒迅速流向回風(fēng)口,因此要求減少二次氣流和渦流,。至于單向流氣流形式更是一般空調(diào)所沒(méi)有的,。
3.室內(nèi)壓力控制方面
一般空調(diào)對(duì)室內(nèi)壓力沒(méi)有明顯要求,而潔凈室則不是要求室內(nèi)正壓就是要求室內(nèi)負(fù)壓,,小壓差在5Pa以上,,這就要求供給一定的正壓風(fēng)量或給予一定的排風(fēng),因此必須采取一定的施,,這是一般空調(diào)所不必要的,。
4.風(fēng)量能耗方面
一般空調(diào)系統(tǒng)只有10次以下的換氣次數(shù),而凈化空調(diào)系統(tǒng)的換氣次數(shù)少也要15次,,多幾百次,,是一般空調(diào)的幾倍至幾十倍。亳州無(wú)塵室凈化裝修
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