無塵室分類：

1.亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器（HEPA）進(jìn)入無塵室,，并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng),。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,，將污染空氣逐漸稀釋,，來實現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級別（換氣次數(shù)越多,，凈化級別越高）,。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。

優(yōu)點：構(gòu)造簡單,、系統(tǒng)建造成本,，無塵室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所,，可并用無塵工作臺,，提高無塵室等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,，易污染制

程產(chǎn)品,。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度,，往往須耗時相當(dāng)長一段時間,。

2. 層流式

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),，此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用,，一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出,，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外,，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重,。

優(yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定,。

⑵垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋,，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度,，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。

優(yōu)點：管理容易,，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點：構(gòu)造費用較高,，彈性運用空間困難,，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩,。

3. 復(fù)合式

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,，可提供局部超潔凈之空氣。

⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用,。

此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),，ULSI制程大都采用此種型式,。

潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行,。

無塵室設(shè)計方案注意事項：

1.無塵車間設(shè)計內(nèi)容有合理布置工藝流程和建筑平面,；

2. 選擇滿足無塵車間特點的建筑構(gòu)造和材料；

3. 無塵車間設(shè)計應(yīng)依據(jù)當(dāng)時當(dāng)?shù)氐哪茉垂?yīng)背景,，選定可靠和經(jīng)濟的冷,、熱源；

4. 劃分和布置空調(diào)凈化和排風(fēng)系統(tǒng),；

5. 選擇合理的空氣凈化通風(fēng)設(shè)備,； 無論是新建還是重新改造的無塵車間,，都一定依照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行,。中衛(wèi)無塵室凈化裝修

無塵室設(shè)計時應(yīng)考慮的幾個特性：  

耐久性：  

  無塵車間要有符合環(huán)境,、無塵車間內(nèi)部的清洗溶液及振動、設(shè)備,、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料,。而耐久性，同時也依賴無塵車間等級來建造,。半導(dǎo)體傾向選擇鋁,，基于它的耐久性，然而,，它不是便宜的物質(zhì),。  

清洗：   

在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無塵車間的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,，直到防止濾過性病毒或細(xì)菌的污染之特性,。在市場，清洗真正地是一個重要的企業(yè),。 

適應(yīng)性：  

 一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢,，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致大的損失。擁有者和設(shè)計者的能力為改變的關(guān)鍵,，所以他們從不將初的設(shè)計定型,。

維護(hù)性：

對無塵車間而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板,、天花板,，以及墻壁的部分。至于維修的問題,，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級,。在應(yīng)用力面、天花板,、地板及墻壁三者之中重要的為天花板,，其包含HEPA及ULPA等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子,，且其常會因各個不同的需要,，便其分開來，供應(yīng)各個不同區(qū)域的小房間,，曾有人說：若建造之預(yù)算因某種原因被限制,，除了少數(shù)的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實天花板是一個頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴(yán)格地過濾粒子,，故其設(shè)計必須準(zhǔn)確,，無塵潔凈室的風(fēng)管系統(tǒng)要保證密封性, 嚴(yán)格檢測風(fēng)管泄漏, 定期進(jìn)行漏光測試或漏風(fēng)測試, 監(jiān)測法蘭或螺紋密閉性, 必要時進(jìn)行焊接或密封膠處理。

無塵室的構(gòu)成：

一般情況下,，無塵室是指生產(chǎn)和檢驗所需的工作環(huán)境,，對于生產(chǎn)環(huán)節(jié)，應(yīng)包括與生產(chǎn)產(chǎn)品工藝流程相對應(yīng)的功能間,，如注塑間,、干燥間等；對于檢驗環(huán)節(jié),，應(yīng)包括與檢驗有關(guān)的功能間,，如陽性對照間、無菌檢驗間和微生物限度間等,；為生產(chǎn)服務(wù)的輔助功能間，如洗衣間,、潔具間等以及連接各功能間的緩沖過渡通道,。

無塵的氣流組織形式是實現(xiàn)潔凈環(huán)境的重要保證措施。一般氣流組織形式有非層流方式或?qū)恿鞣绞絻煞N,。用高度凈化的空氣把車間內(nèi)產(chǎn)生的粉塵稀釋,，叫做非層流方式（亂流方式）。用高度凈化的氣流作為載體,，把粉塵排出,，叫做層流方式。層流方式有垂直層流和水平層流兩種,。從房頂方向吹入清潔空氣通過地平面排出叫垂直層流式,，從側(cè)壁方向刮入清潔空氣，從對面?zhèn)缺谂懦鼋兴綄恿魇?。亂流方式由于換氣次數(shù)的變化潔凈度也隨之變化,。

無塵室的氣流應(yīng)滿足潔凈度和人體健康的要求，如關(guān)鍵工作操作點應(yīng)位于潔凈空氣流的上風(fēng)側(cè),，對散發(fā)有害物質(zhì)的工作點,，人的頭部應(yīng)避免在其空氣流正對的下風(fēng)側(cè)。應(yīng)使無塵車間氣流流向單一,。非單向流潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置操作臺時,，其位置應(yīng)遠(yuǎn)離回風(fēng)口。產(chǎn)品也不應(yīng)擺放在回風(fēng)口附近,，因為回風(fēng)口處的潔凈度比較差,。回風(fēng)口應(yīng)均勻布置在潔凈室（區(qū)）的下部，高度應(yīng)低于工作臺面,。潔凈室（區(qū)）內(nèi)有局部排風(fēng)裝置時,，其位置應(yīng)設(shè)在工作室氣流的下風(fēng)側(cè)，以免氣流短路,。中衛(wèi)無塵室凈化裝修