中圖儀器PLR3000高靈敏度光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設(shè)備,，基于激光干涉測量原理,，專為超精密加工、微電子制造,、光刻技術(shù),、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計(jì)。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,，支持單軸至多軸測量,。相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率,，同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì),，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷,，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn),。

PLR3000高靈敏度光纖激光尺分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm,，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn),、可靠的位置反饋與控制,。在微電子,、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造,、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用,。

功能特點(diǎn)

1、高分辨率數(shù)字正交信號(hào)輸出,，分辨率達(dá)10nm（可外部拓展）,。 

2,、高測量精度，線性測量精度達(dá)0.2~0.5ppm,。

3,、高穩(wěn)頻精度，可達(dá)0.02~0.05ppm,。

4,、測量范圍大，最大量程可達(dá)4m（可拓展）,。

5,、激光發(fā)射裝置與干涉探頭分離，通過3m鎧裝光纖與電纜連接,，可將激光尺主機(jī)遠(yuǎn)離被測量設(shè)備,，便于安裝，同時(shí)還可避免主機(jī)散熱對測量通路的影響,。

6,、輸出正交數(shù)字信號(hào)或1Vpp正余弦信號(hào)，可以適用于不同的控制器,。

7,、體積小巧，適合狹小空間安裝,，可最大限度降低阿貝誤差,。 

8、即可作為激光干涉儀進(jìn)行測量,，也可用于閉環(huán)位置反饋控制,。

9、多通道輸出,，可輕松實(shí)現(xiàn)多軸同時(shí)測量及多自由度測量,。

10、環(huán)境補(bǔ)償功能,，一體化的環(huán)境氣象站自動(dòng)監(jiān)視及更新環(huán)境氣象參數(shù),，實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、空氣壓力和濕度對激光在空氣中空氣折射率的影響,，保證測量的準(zhǔn)確性,。

核心優(yōu)勢

1. 高精度  

（1）分辨率10nm（可拓展），線性測量精度0.2ppm,，穩(wěn)頻精度0.02ppm,，滿足納米級(jí)測量需求。  

（2）環(huán)境氣象站實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度,、濕度,、氣壓對測量的影響,，確保數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定。  

2. 靈活配置  

（1）支持單軸,、雙軸,、三軸輸出，輕松實(shí)現(xiàn)多自由度測量,。  

（2）可選差分干涉儀,、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭,，適配復(fù)雜場景,。  

3. 高穩(wěn)定性與便捷性  

（1）激光光源與探頭分離設(shè)計(jì)，3米鎧裝光纖連接,，避免設(shè)備散熱干擾,，安裝靈活。  

（2）體積小巧,，適配狹小空間,，降低阿貝誤差風(fēng)險(xiǎn)。  

4. 廣泛適用性  

大量程4米（可拓展）,，支持動(dòng)態(tài)速度達(dá)2m/s,，覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運(yùn)動(dòng)場景。  

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造：光刻機(jī)晶圓定位,、精密工件臺(tái)反饋控制,。  

航空航天：發(fā)動(dòng)機(jī)葉片形變檢測、高精度裝配校準(zhǔn),。  

精密加工：數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動(dòng)位置反饋,、微機(jī)械元件測量。  

科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺(tái)穩(wěn)定性監(jiān)測,、超精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備控制,。  

服務(wù)與支持

定制化方案：根據(jù)需求提供探頭配置、量程拓展,、環(huán)境補(bǔ)償單元等靈活選配,。  

專業(yè)認(rèn)證：提供激光校準(zhǔn)證書，確保數(shù)據(jù)性,。  

全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：1年質(zhì)保,，技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)7×24小時(shí)響應(yīng)，快速解決現(xiàn)場問題,。