NS系列高重復性大量程臺階儀臺階高度重復性能低于5A,，Z0向測量量程可到1050um,。最高垂直分辨率可達亞埃米級，且垂直方向動態(tài)比率高,，可以獲取表面輪廓形貌,、粗糙度、波紋度,、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息,。探針物理接觸測量結果穩(wěn)定可靠，重復性好,，精準拿捏測量的輪廓形貌細節(jié),。

應用場景適應性強,，其對被測樣品的反射率特性,、材料種類及硬度等均無特殊要求，可測量沉積薄膜的臺階高度,、抗蝕劑（軟膜材料）的臺階高度等,。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻,、濺射,、SIMS、沉積,、旋涂,、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,，可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra,、RMS、Rv,、Rp,、Rz等數(shù)十項參數(shù)。

3）應力測量：可測量多種材料的表面應力,。

2.測量模式與分析功能

1）單區(qū)域測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導航圖設置掃描起點和掃描長度,，即可開始測量。

2）多區(qū)域測量模式：完成Focus后,，根據(jù)影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設置,，可根據(jù)橫向和縱向距離來陣列形成若干到數(shù)十數(shù)百項掃描路徑所構成的多區(qū)域測量模式，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量,。

3）3D測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設置,，并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域寬度或掃描線條的間距與數(shù)量完成整個掃描面區(qū)域的設置，一鍵即可自動完成整個掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建,。

4）SPC統(tǒng)計分析：支持對不同種類被測件進行多種指標參數(shù)的分析,，針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢。

3.雙導航光學影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機,，在正視導航影像系統(tǒng)中可精確設置掃描路徑,，在斜視導航影像系統(tǒng)中可實時跟進掃描軌跡。

4.快速換針功能

NS系列高重復性大量程臺階儀采用了磁吸式測針,，當需要執(zhí)行換針操作時,，可現(xiàn)場快速更換掃描測針，并根據(jù)軟件中的標定模塊進行快速標定,，確保換針后的精度和重復性,，減少維護煩惱。

磁吸針實物外觀圖（330μm量程）

行業(yè)應用場景

半導體制造：沉積/蝕刻薄膜厚度測量,、CMP工藝表面平整度檢測,、抗蝕劑臺階高度分析。

光伏與顯示面板：太陽能涂層膜厚,、AMOLED屏微結構,、觸控面板銅跡線測量。

MEMS與微納材料：微型傳感器形貌表征,、柔性電子器件薄膜厚度檢測,。

科研與高校：材料表面應力分析、微加工工藝研發(fā)數(shù)據(jù)支撐,。

部分技術參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）