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CEM3000系列中圖儀器高分辨率掃描電鏡操作系統(tǒng)簡便,,使用過程簡單快捷。樣品一鍵裝入,,自動(dòng)導(dǎo)航和一鍵出圖能力(自動(dòng)聚焦+自動(dòng)消像散+自動(dòng)亮度對(duì)比度)幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像,,大大提升了使用效率。
CEM3000中圖掃描電鏡在工業(yè)領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用價(jià)值,,標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭,、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),,能滿足用戶對(duì)多類型樣品的觀測需求,,實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
性能特色
1.高易用性快速成像,、一鍵成片,,無需過多人工調(diào)節(jié),。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV,。
3.超大景深毫米級(jí)別景深,,具有高空間分辨率。
4.多探測器可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像,。
5.抗振性能優(yōu)異,。
產(chǎn)品功能
1)CEM3000掃描電鏡SEM品牌緊湊的外型,能夠不受場地尺寸制約,,真正做到了空間適用性,,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時(shí)CEM3000也能根據(jù)用戶需求,,輕松移機(jī),,一臺(tái)機(jī)器多處開花;
2)高分辨率,,能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M(jìn)行觀測分析,,滿足用戶的觀測需求;
3)快速抽放氣,,憑借真空系統(tǒng)設(shè)計(jì),,該系列臺(tái)式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時(shí)間;
4)高易用性,,能夠快速成像,、一鍵出片,用戶使用自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,,無需過多人工操作,,就可得到高質(zhì)量拍攝圖片;
5)大樣品倉,,CEM3000A在保證較小外型尺寸同時(shí),,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品,;
6)高抗振防磁性能,,全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B使用本公司技術(shù),,基于復(fù)合抗振手段,,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度;
7)可選配低真空模式,,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度,,進(jìn)而對(duì)不同類型的樣品進(jìn)行觀測;
8)能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇,,滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求,;
9)搭配有多種探頭,能夠?qū)悠愤M(jìn)行多種手段的分析,。
機(jī)型選擇
CEM3000A(大樣品倉型):70mm×70mm樣品倉,,兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B(抗振型):專為振動(dòng)環(huán)境設(shè)計(jì),,抽氣更快(低真空僅40秒),,成像更穩(wěn)定。
應(yīng)用領(lǐng)域
CEM3000系列中圖儀器高分辨率掃描電鏡外型緊湊,,空間適用性強(qiáng),,整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì),避免使用環(huán)境造成的影響,,拓寬了應(yīng)用范圍,。同時(shí),該系列臺(tái)式電鏡具有非常豐富的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測,,具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000掃描電鏡上搭配不同的探頭,,同時(shí)接收多種信號(hào),,對(duì)樣品進(jìn)行分析。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號(hào) | CEM3000A(大樣品倉型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),,優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動(dòng)化軟件 | 標(biāo)配:自動(dòng)合軸,、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散,、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配:顆粒度統(tǒng)計(jì),、孔隙率測量、纖維測量,、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺(tái) | 自動(dòng)軸 | X,,Y,T |
手動(dòng)軸 | R,,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動(dòng)旋轉(zhuǎn),、電子束旋轉(zhuǎn)) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢,。