SuperViewW光學(xué)3D表面形貌特征輪廓儀基于白光干涉原理,，以3D非接觸方式,，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。它是以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器,。

SuperViewW光學(xué)3D表面形貌特征輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

產(chǎn)品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙,、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量,；

2)單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時，可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能,；

3)多區(qū)域自動測量：可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位，一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能,；

4)自動拼接測量；支持方形,、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導(dǎo)航功能,，可自定義測量區(qū)域,，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,，可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,，結(jié)合自動單測量功能，實現(xiàn)一鍵測量,；

6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整,、去噪、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,。

8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,，針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析,；

9)數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出：支持word,、excel,、pdf格式的數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,，支持圖像,、數(shù)值結(jié)果的導(dǎo)出,；

10)故障排查功能：配置診斷模塊,，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像,；

11)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等；

12)環(huán)境噪聲評價：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能,，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù)；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座,，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動噪聲,，確保測量數(shù)據(jù)的高精度；

14)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能,，當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長光源使用壽命,；

鏡頭安全功能：雙重防撞保護(hù),，軟件ZSTOP防撞保護(hù)，設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位,，不再下移且伴有報警聲,；設(shè)備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計,，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮,，進(jìn)入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風(fēng)險。

自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺,，集成了圖像掃描,、3D分析、影像測量,、自動化測量等四個大的功能模塊,，能夠適配中圖W系列、VT系列,、WT系列所有3D儀器機(jī)型,，可自主識別機(jī)型種類,，二合一機(jī)型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式,。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗，重構(gòu)了顯微影像測量功能,，可針對微觀平面輪廓尺寸的點,、線間的距離,、角度、半徑等參數(shù)進(jìn)行直接測量和自動匹配測量,。

自動化mark點識別坐標(biāo)定位自動化功能

Mark點影像識別自動坐標(biāo)位置校正,，多區(qū)域坐標(biāo)點自動定位測量與分析，可組合式完成粗糙度,、輪廓尺寸的批量自動化測量,。

自動拼接功能

支持方形、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,，配合影像導(dǎo)航功能，可自定義測量區(qū)域,，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量,。

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

部分技術(shù)指標(biāo)

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解,。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。