VT6000共聚焦顯微成像系統(tǒng)是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器,。它基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描,，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像,，從而進(jìn)行分析。

VT6000共聚焦顯微成像系統(tǒng)可測(cè)各類(lèi)包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度,、微觀(guān)幾何輪廓,、曲率等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料制造,、汽車(chē)零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,。

性能特點(diǎn)

1,、高精度,、高重復(fù)性

（1）以轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法,，共同組成測(cè)量系統(tǒng),，保證儀器的高測(cè)量精度。

（2）儀器的隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動(dòng)噪聲,，儀器在部分環(huán)境中穩(wěn)定可靠,，具有良好的測(cè)量重復(fù)性。

2,、一體化操作的測(cè)量分析軟件

（1）測(cè)量與分析同界面操作,，無(wú)需切換，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能,。

（2）可視化窗口，便于用戶(hù)時(shí)事觀(guān)察掃描過(guò)程,。

（3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程。

（4）幾何分析,、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全,。

（5）一鍵分析、多文件分析,，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能,。

（6）可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D\3D參數(shù),。

3、精密操縱手柄

集成X\Y\Z三個(gè)方向調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺(tái)平移,、Z向聚焦等測(cè)量前工作。

4,、雙重防撞保護(hù)措施

除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，保護(hù)儀器，降低認(rèn)為操作風(fēng)險(xiǎn),。

不同應(yīng)用場(chǎng)景下的3D形貌

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光學(xué)膜材,、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀(guān)形貌和輪廓尺寸檢測(cè)中,，其次是對(duì)表面粗糙度,、面積、體積等參數(shù)的檢測(cè)中,。

3D形貌圖片：

影像測(cè)量功能界面

應(yīng)用場(chǎng)景

1,、鐳射槽

測(cè)量晶圓上激光鐳射槽的深度：半導(dǎo)體后道制造中，在將晶圓分割成一片片的小芯片前,，需要對(duì)晶圓進(jìn)行橫縱方向的切割,，為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失，會(huì)先采用激光切割機(jī)在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導(dǎo)槽,，在工藝上需要對(duì)引導(dǎo)槽的槽型深寬尺寸進(jìn)行檢測(cè)。

2,、光伏

在太陽(yáng)能電池制作工程中,，柵線(xiàn)的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力，直接影響著太陽(yáng)能電池的性能,。共聚焦顯微鏡可以對(duì)柵線(xiàn)進(jìn)行快速檢測(cè),。此外，太陽(yáng)能電池制作過(guò)程中,，制絨作為關(guān)鍵核心工藝,，金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果，是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素,。共聚焦顯微鏡具有納米級(jí)別的縱向分辨能力,，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建。

3,、其他

部分技術(shù)指標(biāo)