SJ6000國產單頻激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大,、測量速度快,、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組,，可實現(xiàn)線性測長,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,。

在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,，以及進行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析,、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等,。

產品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組、角度鏡組,、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動精密轉臺,。

主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構成,。可滿足線性位移設備的定位精度,、重復定位精度,、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補償,。

線性測量應用

SJ6000國產單頻激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標,、機器人,、3D打印設備、自動化設備,、線性位移平臺,、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量,。

產品功能

（1）可實現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉軸等幾何參量的高精密測量,；

（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度,、重復定位精度等,，以及導軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準,；

（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,，為設備誤差修正提供依據；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進行振動分析,、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等,；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償,。

測量軟件

（1）友好的人機界面；

（2）豐富的應用功能模塊,；

（3）向導式的操作流程,；

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文,、英文和俄文界面,；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。

部分技術規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍,，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意：因市場發(fā)展和產品開發(fā)的需要,，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解,。

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。