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CEM3000桌面臺式掃描電鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析,,其抗振設(shè)計,在充滿機械振動和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山,,拍攝出清晰,、高分辨率的圖像。不管是高樓的實驗室,,還是有一定振動的生產(chǎn)車間等非常規(guī)電鏡使用環(huán)境,,CEM3000系列臺式電鏡都可憑借其強大的抗振性能應(yīng)對。
產(chǎn)品功能
1.高分辨率,,滿足用戶觀測需求,;
2.快速抽放氣,縮短等待時間,;
3.高易用性
可快速成像,,一鍵成片;
4.多種成像參數(shù)
滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求,;
5.高抗振防磁性能
強抗干擾能力,;
6.可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度,,進(jìn)而對不同類型的樣品進(jìn)行觀測,。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時,,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品,;
8.多探測器
可實現(xiàn)四分窗同時掃描成像,。
性能特色
1.高易用性快速成像、一鍵成片,,無需過多人工調(diào)節(jié),。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV,。
3.超大景深毫米級別景深,,具有高空間分辨率。
4.多探測器可實現(xiàn)四分窗同時掃描成像,。
5.抗振性能優(yōu)異。
雙機型搭配
CEM3000桌面臺式掃描電鏡設(shè)有CEM3000A(大樣品倉),、CEM3000B(抗振型)兩款子機型,,分別在樣品倉容量、抗振性方面進(jìn)行了強化加深和技術(shù)拉通,,兩者具有高通用性,,但又各有千秋。
為客戶提供更適合的產(chǎn)品方案,,讓用戶在進(jìn)行分析時更加得心應(yīng)手,。
應(yīng)用領(lǐng)域
該電鏡外型緊湊,空間適用性強,,整機采用大量的抗干擾設(shè)計,,避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍,。同時,,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測,,具有高空間分辨率,。
用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時接收多種信號,,對樣品進(jìn)行分析,。
應(yīng)用范例:
部分技術(shù)指標(biāo)
型號 | CEM3000A(大樣品倉型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標(biāo)配:自動合軸,、自動聚焦,、自動消像散、一鍵圖像增強 | |
選配:顆粒度統(tǒng)計,、孔隙率測量,、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X,Y,,T |
手動軸 | R,,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉內(nèi)相機 | 導(dǎo)航相機 | 標(biāo)配高分辨彩色相機 |
側(cè)視相機 | 標(biāo)配高分辨紅外相機 | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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