NS系列軟膜材料臺階高度儀采用LVDC電容傳感器,，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點,。它是利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,，可以測量各種材料的膜層厚度,，包括金屬、陶瓷,、塑料等,。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,，可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射,、SIMS,、沉積、旋涂,、CMP等工藝期間沉積或去除的材料,。

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS,、Rv,、Rp、Rz等數(shù)十項參數(shù),。

3）應(yīng)力測量：可測量多種材料的表面應(yīng)力,。

2.測量模式與分析功能

1）單區(qū)域測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖設(shè)置掃描起點和掃描長度，即可開始測量,。

2）多區(qū)域測量模式：完成Focus后,，根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置，可根據(jù)橫向和縱向距離來陣列形成若干到數(shù)十?dāng)?shù)百項掃描路徑所構(gòu)成的多區(qū)域測量模式,，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量,。

3）3D測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置，并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域?qū)挾然驋呙杈€條的間距與數(shù)量完成整個掃描面區(qū)域的設(shè)置,，一鍵即可自動完成整個掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建,。

4）SPC統(tǒng)計分析：支持對不同種類被測件進行多種指標(biāo)參數(shù)的分析，針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢,。

3.雙導(dǎo)航光學(xué)影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機,，在正視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可精確設(shè)置掃描路徑，在斜視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可實時跟進掃描軌跡,。

4.快速換針功能

采用了磁吸式測針,，當(dāng)需要執(zhí)行換針操作時，可現(xiàn)場快速更換掃描測針,，并根據(jù)軟件中的標(biāo)定模塊進行快速標(biāo)定,，確保換針后的精度和重復(fù)性，減少維護煩惱,。

磁吸針實物外觀圖（330μm量程）

針對測量薄膜的應(yīng)用場景,，NS系列軟膜材料臺階高度儀提供如下便捷功能：

1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺，能夠快速定位到測量標(biāo)志位,；

2）對于批量樣件,，提供自定義多區(qū)域測量功能,，實現(xiàn)一鍵多點位測量；

3）提供SPC統(tǒng)計分析功能,，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢,；

工作過程

測量時通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺移動樣品時掃描其表面，測針的垂直位移距離被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相匹配的電信號并最終轉(zhuǎn)換為數(shù)字點云信號,，數(shù)據(jù)點云信號在分析軟件中呈現(xiàn)并使用不同的分析工具來獲取相應(yīng)的臺階高或粗糙度等有關(guān)表面質(zhì)量的數(shù)據(jù),。

應(yīng)用領(lǐng)域

應(yīng)用場景適應(yīng)性強，其對被測樣品的反射率特性,、材料種類及硬度等均無特殊要求,，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏,、光學(xué)加工,、LED、MEMS器件,、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,，其對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征，對于相關(guān)材料的評定,、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義,。

典型應(yīng)用

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）