SJ6000高穩(wěn)定性激光干涉儀的測量原理主要包括相位測量和位移測量,。相位測量是通過測量干涉條紋的相位差來計算被測量物體的形狀,、位置等參數(shù)；位移測量是通過測量干涉條紋的位移來確定物體的位移量,。這兩種測量原理在不同應(yīng)用場景下有著各自的優(yōu)勢和適用性,。

SJ6000高穩(wěn)定性激光干涉儀集光、機,、電,、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實現(xiàn)高精度,、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組,、角度鏡組、直線度鏡組,、垂直度鏡組,、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺,。

主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償,。

產(chǎn)品功能

（1）可實現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度、平行度,、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機床,、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度、垂直度等,；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補償。

SJ6000激光干涉儀非接觸式,、高精度的特點使其適用于各種復(fù)雜的運動系統(tǒng),，不僅僅局限于運動導(dǎo)軌，還可以檢測數(shù)控機床,、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度、垂直度等,。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能,，減少維護(hù)成本和停機時間，為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式,。

在機床領(lǐng)域的應(yīng)用

1.測量機床導(dǎo)軌的直線度和平行度,。

導(dǎo)軌是機床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩(wěn)定性,。激光干涉儀可以通過測量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差,，從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。

2.測量機床工作臺的平面度和垂直度,。

機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量,。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋，可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺的不平整和非垂直狀態(tài),，并及時進(jìn)行調(diào)整和修正,，確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。

3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度,。

機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關(guān)鍵因素,。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋，可以準(zhǔn)確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求,，從而為后續(xù)的機床調(diào)整和校準(zhǔn)提供依據(jù),。

4.其它

除了上述應(yīng)用，激光干涉儀還可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關(guān)系，從而檢測和糾正機床的裝配誤差,。此外,，激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況，及時發(fā)現(xiàn)機床的故障和異常狀態(tài),，保證機床的穩(wěn)定性和可靠性,。

對數(shù)控機床進(jìn)行螺距誤差補償

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

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