中圖儀器VT6000自動三維共聚焦顯微鏡基于光學共軛共焦原理,，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設計和優(yōu)異的3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng),，用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量,，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。

共聚焦顯微鏡所展現(xiàn)的放大圖像細節(jié)要高于常規(guī)的光學顯微鏡,，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測。它具有直觀測量的特點,，能夠有效提高工作效率,，更加快捷準確地完成日常任務。借助共聚焦顯微鏡,，能有效提高工作效率,，實現(xiàn)更準確的操作。

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能：設備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

2)影像測量功能：設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,，可進行長度、角度,、半徑等尺寸測量,；

3)自動拼接功能：設備具備自動拼接功能，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

4)數(shù)據(jù)處理功能：設備具備調(diào)整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)分析工具功能：設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6)批量分析功能：設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；

7)便捷操作功能：設備配備操縱桿,，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等,；

8)光源安全功能：光源設置無人值守下的自動熄燈功能,，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命,；

9)鏡頭安全功能：設備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構(gòu)設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,，進入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風險,。

不同應用場景下的3D形貌

VT6000自動三維共聚焦顯微鏡主要應用于半導體、光學膜材,、顯示行業(yè),、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度,、面積、體積等參數(shù)的檢測中,。

3D形貌圖片：

影像測量功能界面

應用場景

1,、鐳射槽

測量晶圓上激光鐳射槽的深度：半導體后道制造中，在將晶圓分割成一片片的小芯片前,，需要對晶圓進行橫縱方向的切割,，為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失，會先采用激光切割機在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導槽,，在工藝上需要對引導槽的槽型深寬尺寸進行檢測,。

2、光伏

在太陽能電池制作工程中,，柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導電能力,，直接影響著太陽能電池的性能。共聚焦顯微鏡可以對柵線進行快速檢測,。此外,，太陽能電池制作過程中，制絨作為關(guān)鍵核心工藝,，金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果,，是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級別的縱向分辨能力,，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復雜的樣品進行三維形貌重建,。

3、其他