中圖儀器SuperViewW光學(xué)超光滑微透鏡形貌輪廓測量儀基于白光干涉原理,，以3D非接觸方式,，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。它結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

產(chǎn)品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙,、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量,；

2)單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時，可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能,；

3)多區(qū)域自動測量：可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位，一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能,；

4)自動拼接測量；支持方形、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,，配合影像導(dǎo)航功能，可自定義測量區(qū)域,，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量,；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊，可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,，結(jié)合自動單測量功能,，實現(xiàn)一鍵測量；

6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整,、去噪,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能。

8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,，針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析,；

9)數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出：支持word、excel,、pdf格式的數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,，支持圖像、數(shù)值結(jié)果的導(dǎo)出,；

10)故障排查功能：配置診斷模塊,，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像；

11)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿,，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等,；

12)環(huán)境噪聲評價：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能,，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù),；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動噪聲,，確保測量數(shù)據(jù)的高精度,；

14)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能，當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命,；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護，軟件ZSTOP防撞保護,，設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位,，不再下移且伴有報警聲；設(shè)備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計,，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險,。

SuperViewW光學(xué)超光滑微透鏡形貌輪廓測量儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

部分技術(shù)指標(biāo)

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解,。

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