中圖儀器VT6000共聚焦光學(xué)類測量顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,，可分析粗糙度,、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù),。

它基于光學(xué)共軛共焦原理,，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像,，從而進(jìn)行分析,。

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能：設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

2)影像測量功能：設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進(jìn)行長度,、角度,、半徑等尺寸測量；

3)自動拼接功能：設(shè)備具備自動拼接功能,，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

4)數(shù)據(jù)處理功能：設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5)分析工具功能：設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6)批量分析功能：設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

7)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿,，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等,；

8)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能，當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時(shí)間未變動后會自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命；

9)鏡頭安全功能：設(shè)備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn),。

VT6000共聚焦光學(xué)類測量顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

不同應(yīng)用場景下的3D形貌

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光學(xué)膜材,、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,，其次是對表面粗糙度,、面積、體積等參數(shù)的檢測中,。

3D形貌圖片：

影像測量功能界面

部分技術(shù)指標(biāo)