中圖儀器NS系列納米級表面測量臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器，可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度,、表面形貌,、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

NS系列臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,，同時，其集成了超低噪聲信號采集,、超精細運動控制,、標定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性,。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,，可以準確測量蝕刻、濺射,、SIMS,、沉積、旋涂,、CMP等工藝期間沉積或去除的材料,。

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra,、RMS,、Rv、Rp,、Rz等數(shù)十項參數(shù),。

3）應(yīng)力測量：可測量多種材料的表面應(yīng)力。

2.測量模式與分析功能

1）單區(qū)域測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖設(shè)置掃描起點和掃描長度,，即可開始測量,。

2）多區(qū)域測量模式：完成Focus后，根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置,，可根據(jù)橫向和縱向距離來陣列形成若干到數(shù)十數(shù)百項掃描路徑所構(gòu)成的多區(qū)域測量模式,，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量。

3）3D測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置,，并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域?qū)挾然驋呙杈€條的間距與數(shù)量完成整個掃描面區(qū)域的設(shè)置,，一鍵即可自動完成整個掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建。

4）SPC統(tǒng)計分析：支持對不同種類被測件進行多種指標參數(shù)的分析,，針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢,。

3.雙導(dǎo)航光學(xué)影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機，在正視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可精確設(shè)置掃描路徑,，在斜視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可實時跟進掃描軌跡,。

4.快速換針功能

采用了磁吸式測針，當需要執(zhí)行換針操作時,，可現(xiàn)場快速更換掃描測針,，并根據(jù)軟件中的標定模塊進行快速標定，確保換針后的精度和重復(fù)性,，減少維護煩惱,。

磁吸針實物外觀圖（330μm量程）

NS系列納米級表面測量臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類,、材料硬度都沒有特別要求,，樣品適應(yīng)面廣，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高,、測量穩(wěn)定、便捷,、高效,，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。應(yīng)用場景適應(yīng)性強,，其對被測樣品的反射率特性,、材料種類及硬度等均無特殊要求,，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏,、光學(xué)加工,、LED、MEMS器件,、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,。

典型應(yīng)用

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）