中圖儀器NS系列柔性電子器件薄膜測(cè)量臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器，可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌,、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量,。

臺(tái)階儀對(duì)測(cè)量工件的表面反光特性、材料種類,、材料硬度都沒(méi)有特別要求,，樣品適應(yīng)面廣，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高,、測(cè)量穩(wěn)定,、便捷、高效,，是微觀表面測(cè)量中使用非常廣泛的微納樣品測(cè)量手段,。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測(cè)量功能

1）臺(tái)階高度：能夠測(cè)量納米到330μm或1050μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻,、濺射,、SIMS、沉積,、旋涂,、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

2）粗糙度與波紋度：能夠測(cè)量樣品的粗糙度和波紋度,，分析軟件通過(guò)計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線,，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS,、Rv、Rp,、Rz等數(shù)十項(xiàng)參數(shù),。

3）應(yīng)力測(cè)量：可測(cè)量多種材料的表面應(yīng)力。

2.測(cè)量模式與分析功能

1）單區(qū)域測(cè)量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖設(shè)置掃描起點(diǎn)和掃描長(zhǎng)度,，即可開(kāi)始測(cè)量,。

2）多區(qū)域測(cè)量模式：完成Focus后，根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置,，可根據(jù)橫向和縱向距

離來(lái)陣列形成若干到數(shù)十?dāng)?shù)百項(xiàng)掃描路徑所構(gòu)成的多區(qū)域測(cè)量模式,，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動(dòng)測(cè)量。

3）3D測(cè)量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置,，并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域

寬度或掃描線條的間距與數(shù)量完成整個(gè)掃描面區(qū)域的設(shè)置,，一鍵即可自動(dòng)完成整個(gè)掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建。

4）SPC統(tǒng)計(jì)分析：支持對(duì)不同種類被測(cè)件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,，針對(duì)批量樣品的測(cè)量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢(shì),。

3.雙導(dǎo)航光學(xué)影像功能

在CP200-D型號(hào)中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機(jī)，在正視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可精確設(shè)置掃描路徑，在斜視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可實(shí)時(shí)跟進(jìn)掃描軌跡,。

4.快速換針功能

CP系列柔性電子器件薄膜測(cè)量臺(tái)階儀采用了磁吸式測(cè)針,，當(dāng)需要執(zhí)行換針操作時(shí)，可現(xiàn)場(chǎng)快速更換掃描測(cè)針,，并根據(jù)軟件中的標(biāo)定模塊進(jìn)行快速標(biāo)定,，確保換針后的精度和重復(fù)性，減少維護(hù)煩惱,。

典型應(yīng)用

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對(duì)濕度：濕度 （無(wú)凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動(dòng)）