中圖儀器VT6000共聚焦三維光學(xué)輪廓顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理,，具有很強的縱向深度的分辨能力，能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細節(jié),，顯示出精細的細節(jié)圖像,。它具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率,，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù),。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率,，實現(xiàn)更準(zhǔn)確的操作,。

應(yīng)用領(lǐng)域

測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等參數(shù),，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、平面度,、粗糙度、波紋度,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

VT6000共聚焦三維光學(xué)輪廓顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,，分析粗糙度,、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中,，對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果,，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性,。

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能：設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

不同應(yīng)用場景下的3D形貌

VT6000主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材,、顯示行業(yè),、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度,、面積,、體積等參數(shù)的檢測中。

2)影像測量功能：設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,，可進行長度,、角度、半徑等尺寸測量,；

影像測量功能界面

3)自動拼接功能：設(shè)備具備自動拼接功能,，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

4)數(shù)據(jù)處理功能：設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)分析工具功能：設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6)批量分析功能：設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

7)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等；

8)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能,，當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長光源使用壽命,；

9)鏡頭安全功能：設(shè)備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險,。

自設(shè)計之初,，VT6000便定下了“簡單好用"四字方針的目標(biāo)。

1）結(jié)構(gòu)簡單：儀器整體由一臺輕量化的設(shè)備主機和電腦構(gòu)成,，控制單元集成在設(shè)備主機之內(nèi),，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動，實現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設(shè)計,；

2）真彩圖像：配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,，對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)；

3）操作便捷：采用全電動化設(shè)計,，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計風(fēng)格，實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果,；

4）采用自研的電動鼻輪塔臺,，并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進行了優(yōu)化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應(yīng)對,。

部分技術(shù)指標(biāo)