中圖儀器SuperViewW3D顯微形貌與粗糙度光學輪廓儀通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮孑喞獌x,。它是以白光干涉技術為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

產(chǎn)品功能

(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,；

(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

典型結(jié)果

表面形貌（粗糙度,，平面度，平行度,，臺階高度,，錐角等等）；

幾何特征（關鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積,，特征圖形的位置和數(shù)量等等）,。

SuperViewW3D顯微形貌與粗糙度光學輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。

應用領域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例：

性能特色

1,、高精度,、高重復性

1）采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高,；

2）隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復性,；

2,、環(huán)境噪聲檢測功能

具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾，在設備調(diào)試,、日常監(jiān)測,、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

3,、精密操縱手柄

集成X,、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦、找條紋等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器,，當鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)，最大限度的保護儀器,，降低人為操作風險,。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,，中圖儀器SuperView W1的復合型EPSI重建算法,，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,，只需要確定起點和終點,，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域,，不見一絲重疊縫隙,。儀器具有測量精度高、操作便捷,、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短,，確保了高款率檢測,。特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

部分技術指標

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