中圖儀器VT6000材料表征3d共聚焦形貌顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,，可以獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量,。

VT6000材料表征3d共聚焦形貌顯微鏡在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中，可測各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

(2)設(shè)備具備自動拼接功能,，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

(3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量,，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能,；

(4)設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

(6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；

功能特點

1,、測量模式多樣

單區(qū)域,、多區(qū)域、拼接,、自動測量等多種測量模式可選擇,，適應(yīng)多種現(xiàn)場應(yīng)用環(huán)境；

2,、雙重防撞保護功能

Z軸上裝有防撞機械電子傳感器,、軟件ZSTOP防撞保護功能，雙重保護,；

3,、分析功能豐富

3D：表面粗糙度、平整度,、孔洞體積,、幾何曲面、紋理方向,、PSD等分析,；

2D：剖面粗糙度、幾何輪廓測量,、頻率,、孔洞體積、Abbott參數(shù)等分析,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、平面度,、粗糙度,、波紋度、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應(yīng)用范例：

應(yīng)用場景

1,、鐳射槽

測量晶圓上激光鐳射槽的深度：半導(dǎo)體后道制造中,，在將晶圓分割成一片片的小芯片前，需要對晶圓進行橫縱方向的切割,，為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,，會先采用激光切割機在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導(dǎo)槽，在工藝上需要對引導(dǎo)槽的槽型深寬尺寸進行檢測,。

2,、光伏

在太陽能電池制作工程中，柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力,，直接影響著太陽能電池的性能,。VT6000可以對柵線進行快速檢測。此外,，太陽能電池制作過程中,，制絨作為關(guān)鍵核心工藝，金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果,，是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素,。共聚焦顯微鏡具有納米級別的縱向分辨能力，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進行三維形貌重建,。

3,、其他

VT6000共聚焦顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細節(jié)，顯示出精細的細節(jié)圖像,。它具有直觀測量的特點,，能夠有效提高工作效率，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù),。借助共聚焦顯微鏡,，能有效提高工作效率，實現(xiàn)更準(zhǔn)確的操作,。

部分技術(shù)指標(biāo)