中圖儀器SuperViewW光學三維表面輪廓形貌儀能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。它是以白光干涉技術為原理,、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器,。

典型結果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度，平行度,，臺階高度,，錐角等等）；

幾何特征（關鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）,。

SuperViewW光學三維表面輪廓形貌儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領域中,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D,、3D參數(shù)作為評價標準,。

產(chǎn)品功能

(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能,；

(2)測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

(3)測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能；

(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結構分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應用領域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例：

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度,、大掃描范圍的需求，中圖儀器SuperView W的復合型EPSI重建算法,，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小,、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,，只需要確定起點和終點,，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域,，不見一絲重疊縫隙,。特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量,。

性能特色

1,、高精度、高重復性

1）采用光學干涉技術,、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高；

2）隔振系統(tǒng),，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,，獲得高測量重復性,；

2,、環(huán)境噪聲檢測功能

具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾，在設備調(diào)試,、日常監(jiān)測,、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

3,、精密操縱手柄

集成X,、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦、找條紋等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器,，當鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)，最大限度的保護儀器,，降低人為操作風險,。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。

部分技術指標

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解。

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