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深圳市中圖儀器股份有限公司

PRODUCT DISPLAY

當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量儀>>共聚焦顯微鏡>> VT6100納米材料表征共聚焦顯微鏡

納米材料表征共聚焦顯微鏡

參  考  價(jià): 950000

訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):VT6100

品       牌:CHOTEST/中圖儀器

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:深圳市

更新時(shí)間:2024-07-15 11:07:27瀏覽次數(shù):639次

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,交通,電氣,綜合
在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中,,納米材料表征共聚焦顯微鏡用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量,。它基于光學(xué)共軛共焦原理,結(jié)合精密縱向掃描,,以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像,。

在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中,納米材料表征共聚焦顯微鏡用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量,。它基于光學(xué)共軛共焦原理,,結(jié)合精密縱向掃描,以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像,。

納米材料表征共聚焦顯微鏡

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能,;

(2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量,;

(3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件,,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能,;

(4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

(5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,;

(6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,;


VT6000納米材料表征共聚焦顯微鏡在陶瓷,、金屬、半導(dǎo)體,、芯片等材料科學(xué)及生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用,。


應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、平面度,、粗糙度、波紋度,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。

應(yīng)用范例:

納米材料表征共聚焦顯微鏡


性能特色

1、高精度,、高重復(fù)性

1)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),,結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法,共同組成測(cè)量系統(tǒng),,保證儀器的高測(cè)量精度,;

2)隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動(dòng)噪聲,儀器在嘈雜的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,,具有良好的測(cè)量重復(fù)性,。

2、一體化操作的測(cè)量分析軟件

1)測(cè)量與分析同界面操作,,無須切換,,測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能,;

2)可視化窗口,,便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程;

3)結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,,可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過程,;

4)幾何分析、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全;

5)一鍵分析,、多文件分析,,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能,;

6)可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù),。

3,、精密操縱手柄

集成X、Y,、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦等測(cè)量前工作,。

4,、雙重防撞保護(hù)措施

除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),,儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),保護(hù)儀器,,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn),。

納米材料表征共聚焦顯微鏡


VT6000共聚焦顯微鏡顯微成像主要采用3D捕獲的成像技術(shù),使其具有較高的三維圖像分辨率,。橫向分辨率更高,,所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì),能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察,。


應(yīng)用場(chǎng)景

1,、鐳射槽

測(cè)量晶圓上激光鐳射槽的深度:半導(dǎo)體后道制造中,在將晶圓分割成一片片的小芯片前,,需要對(duì)晶圓進(jìn)行橫縱方向的切割,,為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,會(huì)先采用激光切割機(jī)在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導(dǎo)槽,,在工藝上需要對(duì)引導(dǎo)槽的槽型深寬尺寸進(jìn)行檢測(cè),。

納米材料表征共聚焦顯微鏡

2、光伏

在太陽能電池制作工程中,,柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力,,直接影響著太陽能電池的性能。VT6000可以對(duì)柵線進(jìn)行快速檢測(cè),。此外,,太陽能電池制作過程中,,制絨作為關(guān)鍵核心工藝,金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果,,是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素,。共聚焦顯微鏡具有納米級(jí)別的縱向分辨能力,能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建,。

納米材料表征共聚焦顯微鏡

3、其他

納米材料表征共聚焦顯微鏡


部分技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)VT6100


行程范圍

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量50kg
測(cè)量原理共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
顯微物鏡10×;20×;50×;100×
視場(chǎng)范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測(cè)量
寬度測(cè)量
XY位移平臺(tái)負(fù)載10kg
控制方式電動(dòng)
Z0軸掃描范圍10mm
物鏡塔臺(tái)5孔電動(dòng)
光源白光LED

懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解,。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。





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