中圖光學3D表面形貌輪廓儀SuperViewW1基于白光干涉原理,，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,。它結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量,。

中圖光學3D表面形貌輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

產(chǎn)品功能

(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

(3)測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能,；

(4)分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,，SuperView W1的復合型EPSI重建算法,，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點,。在自動拼接模塊下,，只需要確定起點和終點，即可自動掃描,，重建其超光滑的表面區(qū)域,，不見一絲重疊縫隙。

應用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例：

光學3D表面輪廓儀具有測量精度高,、操作便捷,、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,，測量單個精細器件的過程用時短,，確保了高款率檢測。儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,，具有的測量晶圓翹曲度功能,，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,，應變測量以及表面形貌測量,。

部分技術(shù)指標

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解,。

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。