中圖光學(xué)3D表面形貌輪廓儀SuperViewW1基于白光干涉原理,，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,。它結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

中圖光學(xué)3D表面形貌輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料及制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能,；

(2)測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

(3)測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能；

(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度,、大掃描范圍的需求，SuperView W1的復(fù)合型EPSI重建算法,，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小,、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,，只需要確定起點和終點,，即可自動掃描,，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

應(yīng)用范例：

光學(xué)3D表面輪廓儀具有測量精度高,、操作便捷、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測,。儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓,，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

部分技術(shù)指標(biāo)

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解,。

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