當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量?jī)x>>白光干涉儀>> SuperViewW1白光干涉技術(shù)3D測(cè)量輪廓儀
SuperViewW1白光干涉技術(shù)3D測(cè)量輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理,以3D非接觸方式,,測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,。可測(cè)各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。
結(jié)果組成
1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,,波紋度,,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,,晶粒分析等,;
2、二維圖像分析:距離,,半徑,,斜坡,格子圖,,輪廓線等,;
3、表界面測(cè)量:透明表面形貌,,薄膜厚度,,透明薄膜下的表面;
4,、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量,;
5、劃痕形貌,,摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測(cè)量;
6,、微電子表面分析和MEMS表征,。
產(chǎn)品功能
(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,;
(2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,;
(3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;
(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,;
(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,;
(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
工作原理
照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光,,分別投射到樣品表面和參考鏡表面,。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像,。由于兩束光相互干涉,,在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,,根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度,。
SuperViewW1白光干涉技術(shù)3D測(cè)量輪廓儀具有測(cè)量精度高、操作便捷,、功能齊全,、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,,確保了高款率檢測(cè),。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量,。
性能特點(diǎn)
1、高精度,、高重復(fù)性
1)采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng),保證測(cè)量精度高,;
2)隔振系統(tǒng),,能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,,獲得高測(cè)量重復(fù)性;
2,、環(huán)境噪聲檢測(cè)功能
具備的環(huán)境噪聲檢測(cè)模塊能夠定量評(píng)估出外界環(huán)境對(duì)儀器掃描軸的震動(dòng)干擾,,在設(shè)備調(diào)試、日常監(jiān)測(cè),、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。
3、精密操縱手柄
集成X,、Y,、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦,、找條紋等測(cè)量前工作,。
4、雙重防撞保護(hù)措施
在初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),,最大限度的保護(hù)儀器,,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。
5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號(hào) | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
干涉物鏡 | 標(biāo)配:10× 選配:2.5×;5×;20×;50×;100× | |
光學(xué)ZOOM | 標(biāo)配:0.5× 選配:0.375×;0.75×;1× | |
物鏡塔臺(tái) | 標(biāo)配:3孔手動(dòng) 選配:5孔電動(dòng) | |
XY位移平臺(tái) | 尺寸 | 320×200㎜ |
移動(dòng)范圍 | 140×100㎜ | |
負(fù)載 | 10kg | |
控制方式 | 電動(dòng) | |
Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 電動(dòng) | |
Z向掃描范圍 | 10 ㎜ | |
主機(jī)尺寸(長(zhǎng)×寬×高) | 700×606×920㎜ |
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