中圖儀器VT6000共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡是基于光學(xué)共軛共焦原理,，以共聚焦技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,，由LED光源發(fā)出的光束經(jīng)過一個(gè)多孔盤和物鏡后,，聚焦到樣品表面。之后光束經(jīng)樣品表面反射回測(cè)量系統(tǒng),。再次通過MPD上的針孔時(shí),，反射光將只保留聚焦的光點(diǎn),。最后，光束經(jīng)分光片反射后在相機(jī)上成像,。

VT6000共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),，可分析粗糙度、凹坑瑕疵,、溝槽等參數(shù),。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能,；

(2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量,；

(3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件,，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能,；

(4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

(6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、平面度、粗糙度,、波紋度,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。

應(yīng)用范例：

功能特點(diǎn)

1,、測(cè)量模式多樣

單區(qū)域、多區(qū)域,、拼接,、自動(dòng)測(cè)量等多種測(cè)量模式可選擇，適應(yīng)多種現(xiàn)場應(yīng)用環(huán)境,；

2,、雙重防撞保護(hù)功能

Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能,，雙重保護(hù),；

3、分析功能豐富

3D：表面粗糙度,、平整度,、孔洞體積、幾何曲面,、紋理方向,、PSD等分析；

2D：剖面粗糙度,、幾何輪廓測(cè)量,、頻率、孔洞體積,、Abbott參數(shù)等分析,。

應(yīng)用場景

1、鐳射槽

測(cè)量晶圓上激光鐳射槽的深度：半導(dǎo)體后道制造中,，在將晶圓分割成一片片的小芯片前,，需要對(duì)晶圓進(jìn)行橫縱方向的切割，為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,，會(huì)先采用激光切割機(jī)在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導(dǎo)槽,，在工藝上需要對(duì)引導(dǎo)槽的槽型深寬尺寸進(jìn)行檢測(cè)。

2,、光伏

在太陽能電池制作工程中,，柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力，直接影響著太陽能電池的性能。VT6000可以對(duì)柵線進(jìn)行快速檢測(cè),。此外,，太陽能電池制作過程中，制絨作為關(guān)鍵核心工藝,，金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果,，是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級(jí)別的縱向分辨能力,，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建,。

3、其他

部分技術(shù)指標(biāo)