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深圳市中圖儀器股份有限公司

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當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量儀>>共聚焦顯微鏡>> VT6100共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡

共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡

參  考  價(jià): 950000

訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):VT6100

品       牌:CHOTEST/中圖儀器

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:深圳市

更新時(shí)間:2024-07-15 11:21:58瀏覽次數(shù):852次

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子,電氣,綜合
中圖儀器VT6000共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡?是基于光學(xué)共軛共焦原理,,以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等,,一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),可分析粗糙度,、凹坑瑕疵,、溝槽等參數(shù)。

中圖儀器VT6000共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡是基于光學(xué)共軛共焦原理,,以共聚焦技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,,由LED光源發(fā)出的光束經(jīng)過一個(gè)多孔盤和物鏡后,,聚焦到樣品表面。之后光束經(jīng)樣品表面反射回測(cè)量系統(tǒng),。再次通過MPD上的針孔時(shí),,反射光將只保留聚焦的光點(diǎn),。最后,光束經(jīng)分光片反射后在相機(jī)上成像,。

共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡

VT6000共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),,可分析粗糙度、凹坑瑕疵,、溝槽等參數(shù),。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,。


產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能,;

(2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量,;

(3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件,,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能,;

(4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

(5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,;

(6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,;


應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、平面度、粗糙度,、波紋度,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。

應(yīng)用范例:

共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡


功能特點(diǎn)

1,、測(cè)量模式多樣

單區(qū)域、多區(qū)域,、拼接,、自動(dòng)測(cè)量等多種測(cè)量模式可選擇,適應(yīng)多種現(xiàn)場應(yīng)用環(huán)境,;

2,、雙重防撞保護(hù)功能

Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能,,雙重保護(hù),;

3、分析功能豐富

3D:表面粗糙度,、平整度,、孔洞體積、幾何曲面,、紋理方向,、PSD等分析;

2D:剖面粗糙度,、幾何輪廓測(cè)量,、頻率、孔洞體積,、Abbott參數(shù)等分析,。

共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡

應(yīng)用場景

1、鐳射槽

測(cè)量晶圓上激光鐳射槽的深度:半導(dǎo)體后道制造中,,在將晶圓分割成一片片的小芯片前,,需要對(duì)晶圓進(jìn)行橫縱方向的切割,為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,,會(huì)先采用激光切割機(jī)在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導(dǎo)槽,,在工藝上需要對(duì)引導(dǎo)槽的槽型深寬尺寸進(jìn)行檢測(cè)。

共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡

2,、光伏

在太陽能電池制作工程中,,柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力,直接影響著太陽能電池的性能。VT6000可以對(duì)柵線進(jìn)行快速檢測(cè),。此外,,太陽能電池制作過程中,制絨作為關(guān)鍵核心工藝,,金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果,,是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級(jí)別的縱向分辨能力,,能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建,。

共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡

3、其他

共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡


部分技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)VT6100


行程范圍

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量50kg
測(cè)量原理共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
顯微物鏡10×;20×;50×;100×
視場范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測(cè)量
寬度測(cè)量
XY位移平臺(tái)負(fù)載10kg
控制方式電動(dòng)
Z0軸掃描范圍10mm
物鏡塔臺(tái)5孔電動(dòng)
光源白光LED

懇請(qǐng)注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解,。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。






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