中圖儀器SuperViewW1白光三維輪廓測量儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng),，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成,。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperViewW1白光三維輪廓測量儀的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì),，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動,，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動,，確保儀器在車間也能正常工作。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

(3)測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能,；

(4)分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

應(yīng)用范例：

應(yīng)用行業(yè)

在3C領(lǐng)域，可以測量藍(lán)寶石屏,、濾光片,、表殼等表面粗糙度；

在LED行業(yè),，可以測量藍(lán)寶石,、碳化硅襯底表面粗糙度；

在光纖通信行業(yè),，可以測量光纖端面缺陷和粗糙度,；

在集成電路行業(yè)，可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度,；

在EMES行業(yè),，可以測量臺階高度和表面粗糙度；

在軍事領(lǐng)域,，可以測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度,。

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部分技術(shù)指標(biāo)

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時更新或修改,，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解。

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