中圖儀器SuperViewW1白光三維輪廓測量儀由照明光源系統(tǒng),，光學(xué)成像系統(tǒng),，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。它是以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器,。

SuperViewW1白光三維輪廓測量儀的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì),，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng),，同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng)，確保儀器在車間也能正常工作,。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；

(3)測量中提供自動(dòng)拼接測量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能,；

(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應(yīng)用范例：

應(yīng)用行業(yè)

在3C領(lǐng)域,，可以測量藍(lán)寶石屏,、濾光片、表殼等表面粗糙度,；

在LED行業(yè),，可以測量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度,；

在光纖通信行業(yè),，可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；

在集成電路行業(yè),，可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度,；

在EMES行業(yè)，可以測量臺(tái)階高度和表面粗糙度,；

在軍事領(lǐng)域,，可以測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度。

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部分技術(shù)指標(biāo)

懇請(qǐng)注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解,。

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