SJ6000中圖高精度單頻激光干涉儀集光、機(jī),、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng),、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,，可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

工作原理

激光干涉儀利用激光光束的干涉原理來(lái)測(cè)量物體的形狀和表面的高度差異,。其原理是基于兩束相干光在空間交叉的地方發(fā)生干涉,，形成干涉條紋，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)推斷被測(cè)量物體的參數(shù),。

測(cè)量原理

激光干涉儀的測(cè)量原理主要包括相位測(cè)量和位移測(cè)量,。相位測(cè)量是通過(guò)測(cè)量干涉條紋的相位差來(lái)計(jì)算被測(cè)量物體的形狀、位置等參數(shù),；位移測(cè)量是通過(guò)測(cè)量干涉條紋的位移來(lái)確定物體的位移量,。這兩種測(cè)量原理在不同應(yīng)用場(chǎng)景下有著各自的優(yōu)勢(shì)和適用性。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量,；

（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。

高精度性能特點(diǎn)

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。SJ6000中圖高精度單頻激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

在機(jī)床領(lǐng)域的應(yīng)用

激光干涉儀是一種能夠測(cè)量機(jī)床精度的高精度測(cè)量裝置,。它利用激光干涉現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,，具有高精度、高分辨率,、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),，在機(jī)床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

1.測(cè)量機(jī)床導(dǎo)軌的直線度和平行度,。

導(dǎo)軌是機(jī)床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會(huì)直接影響機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性,。激光干涉儀可以通過(guò)測(cè)量導(dǎo)軌上的干涉條紋來(lái)確定其直線度和平行度的偏差,，從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。

2.測(cè)量機(jī)床工作臺(tái)的平面度和垂直度,。

機(jī)床工作臺(tái)的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量,。通過(guò)激光干涉儀測(cè)量工作臺(tái)上的干涉條紋，可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺(tái)的不平整和非垂直狀態(tài),，并及時(shí)進(jìn)行調(diào)整和修正,，確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。

3.測(cè)量機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度,。

機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機(jī)床加工精度的關(guān)鍵因素,。通過(guò)激光干涉儀測(cè)量主軸上的干涉條紋，可以準(zhǔn)確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求,，從而為后續(xù)的機(jī)床調(diào)整和校準(zhǔn)提供依據(jù),。

4.其它

除了上述應(yīng)用，激光干涉儀還可以用于測(cè)量機(jī)床各個(gè)部件之間的相對(duì)位置和尺寸關(guān)系,，從而檢測(cè)和糾正機(jī)床的裝配誤差,。此外，激光干涉儀還可以用于檢測(cè)機(jī)床在運(yùn)行過(guò)程中的變形和振動(dòng)情況,，及時(shí)發(fā)現(xiàn)機(jī)床的故障和異常狀態(tài),，保證機(jī)床的穩(wěn)定性和可靠性,。

對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解,。

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。