當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>激光測(cè)量?jī)x>>激光干涉儀>> SJ6000高速超精密單頻激光干涉儀
中圖儀器SJ6000高速超精密單頻激光干涉儀是一種能夠測(cè)量機(jī)床精度的高精度測(cè)量裝置,。它利用激光干涉現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度,、高分辨率,、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),在機(jī)床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,。
SJ6000高速超精密單頻激光干涉儀集光,、機(jī)、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),,可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償?shù)龋蓪?shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng),、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,,可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度,、加速度,、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
產(chǎn)品功能
(1)可實(shí)現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量,;
(2)可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,,以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,;
(3)可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);
(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),;
(5)具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅和頻率分析等,,可進(jìn)行振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,;
(6)支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列,,依次為線性鏡組、角度鏡組,、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái),。
主要鏡組圖
其中,線性鏡組為標(biāo)配,,由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,。
線性測(cè)量應(yīng)用
SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo),、機(jī)器人,、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備,、線性位移平臺(tái),、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量,。
測(cè)量軟件
(1)友好的人機(jī)界面,;
(2)豐富的應(yīng)用功能模塊;
(3)向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>
(4)簡(jiǎn)潔化的記錄管理,;
(5)支持中文,、英文和俄文界面;
(6)支持企業(yè)專屬模板定制,。
部分技術(shù)規(guī)格
穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
預(yù)熱時(shí)間 | ≤ 6分鐘 |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
存儲(chǔ)溫度范圍 | (-20~70)℃ |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
線性測(cè)量距離 | (0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件) |
線性測(cè)量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度軸向量程 | (0~15)m |
角度測(cè)量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
平面度軸向量程 | (0~15)m |
平面度測(cè)量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,,單位:μm;M為測(cè)量距離,,單位:m) |
直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長(zhǎng)距離(1.0~20.0)m |
直線度測(cè)量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長(zhǎng)距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
垂直度軸向量程 | 短距離(0.1~3.0)m;長(zhǎng)距離(1.0~15.0)m |
垂直度測(cè)量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長(zhǎng)距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測(cè)量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
平行度測(cè)量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求:長(zhǎng)直線度鏡組+垂直度鏡組
直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量
懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,,恕不另行通知,,不便之處敬請(qǐng)諒解。
如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢,。