中圖儀器NS系列薄膜厚度測量臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,，其主要用于臺階高,、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量,。它是一種常用的膜厚測量儀器,，它是利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,，具有測量精度高,、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn),。它可以測量各種材料的膜層厚度,，包括金屬、陶瓷,、塑料等,。

NS系列薄膜厚度測量臺階儀采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢,。針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景,，NS200臺階儀提供如下便捷功能：

1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺，能夠快速定位到測量標(biāo)志位,；

2）對于批量樣件,，提供自定義多區(qū)域測量功能，實(shí)現(xiàn)一鍵多點(diǎn)位測量,；

3）提供SPC統(tǒng)計分析功能,，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢；

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,，可以準(zhǔn)確測量蝕刻,、濺射,、SIMS、沉積,、旋涂,、CMP等工藝期間沉積或去除的材料；

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS,、Rv,、Rp、Rz等20余項(xiàng)參數(shù),；

3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,，如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中，因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,，或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑,。

2.數(shù)采與分析系統(tǒng)

1）自定義測量模式：支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對位移量的方式來設(shè)定掃描路徑的測量模式；

2）導(dǎo)航圖智能測量模式：支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖,、標(biāo)定數(shù)據(jù),、即時圖像以智能化生成移動命令方式來實(shí)現(xiàn)掃描的測量模式。

3）SPC統(tǒng)計分析：支持對不同種類被測件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,，針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢,。

3.光學(xué)導(dǎo)航功能

配備了500W像素的彩色相機(jī)，可實(shí)時將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示,，進(jìn)行即時的高精度定位測量,。

4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能

配備了精密XY位移臺、360°電動旋轉(zhuǎn)平臺和電動升降Z軸,，可對樣品的XYZ,、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié),，提高測量精度及效率,。

性能特點(diǎn)

1.亞埃級位移傳感器

具有亞埃級分辨率，結(jié)合單拱龍門式設(shè)計降低環(huán)境噪聲干擾,，確保儀器具有良好的測量精度及重復(fù)性,；

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,，采用超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,，實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測量；

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,，杜絕運(yùn)動中的細(xì)微抖動,，真實(shí)地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌,。

典型應(yīng)用

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）