中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維光學輪廓儀基于白光干涉原理,，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,，能以3D非接觸方式對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度,，錐角等等）,；

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和體積,，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

性能特色

1,、高精度、高重復性

1）采用光學干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高；

2）隔振系統(tǒng),，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,，獲得高測量重復性,；

2、環(huán)境噪聲檢測功能

具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,，在設(shè)備調(diào)試,、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。

3,、精密操縱手柄

集成X、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作,。

4、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外,，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器,，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態(tài),，最大限度的保護儀器,，降低人為操作風險,。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,，SuperViewW1白光干涉三維光學輪廓儀的復合型EPSI重建算法,，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點,。在自動拼接模塊下,，只需要確定起點和終點，即可自動掃描,，重建其超光滑的表面區(qū)域,，不見一絲重疊縫隙?？梢詮V泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量,。

應用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例：

部分技術(shù)指標

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,，恕不另行通知，不便之處敬請諒解,。

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