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中圖儀器SuperViewW1白光干涉光學(xué)3D表面形貌輪廓儀利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā),,能以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,。測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,;提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能;可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。
產(chǎn)品功能
(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,;
(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,;
(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,;
(4)分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,;
(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,;
(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。
應(yīng)用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。
應(yīng)用范例:
產(chǎn)品特點(diǎn)
參數(shù)測量:粗糙度,、微觀輪廓尺寸、角度,、面積,、體積,一網(wǎng)打盡,;
環(huán)境噪聲檢測:實(shí)時(shí)監(jiān)測,,納米波動,也無可藏匿,;
雙重防撞保護(hù):軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,,讓“以卵擊石"也能安然無恙;
自動拼接:3軸光柵閉環(huán)反饋,,讓3D拼接“天衣無縫",;
雙重振動隔離:氣浮隔振,吸音隔振,,任你“地動山搖,,我自巋然不動"。
SuperViewW1白光干涉光學(xué)3D表面形貌輪廓儀采用擴(kuò)展型的相移算法EPSI,,集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn),,單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,,讓3D測量變得簡單,。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
干涉物鏡 | 標(biāo)配:10× 選配:2.5×;5×;20×;50×;100× | |
光學(xué)ZOOM | 標(biāo)配:0.5× 選配:0.375×;0.75×;1× | |
物鏡塔臺 | 標(biāo)配:3孔手動 選配:5孔電動 | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移動范圍 | 140×100㎜ | |
負(fù)載 | 10kg | |
控制方式 | 電動 | |
Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 電動 | |
Z向掃描范圍 | 10 ㎜ | |
主機(jī)尺寸(長×寬×高) | 700×606×920㎜ |
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,,恕不另行通知,,不便之處敬請諒解。
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