SJ6000激光干涉儀中圖儀器結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件的配合下,，激光干涉儀可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移,、速度,、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析。

產(chǎn)品特點

1,、精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高精度環(huán)境補償模塊,，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設(shè)計,，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2,、功能廣

（1）可實現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償,。

3、軟件強

（1）友好的人機界面,；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊,；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文,、英文和俄文界面,；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。

4,、標(biāo)準(zhǔn)多

SJ6000激光干涉儀中圖儀器內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn),，包含GB、ISO,、英標(biāo)、美標(biāo),、德標(biāo),、日標(biāo)等國內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)?？梢罁?jù)各種不同的機床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù),，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組,、角度鏡組,、直線度鏡組、垂直度鏡組,、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺。

主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補償。

激光干涉儀測量機床直角

如機器軸垂直度誤差測量（數(shù)控機床,、坐標(biāo)測量機等）,，SJ6000激光干涉儀垂直度測量是通過比較直線度值從而確定兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度,，即在同一基準(zhǔn)上對兩個標(biāo)稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較,，得出兩個軸的垂直度,。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測量時反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測量過程中既不移動,、也不調(diào)整,，光學(xué)直角尺測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直,，而不動直線度反射鏡,。

典型情況下對于1.5米長的機器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇,，因為傳統(tǒng)的實物基準(zhǔn),，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。

激光干涉儀對數(shù)控機床進行螺距誤差補償

數(shù)控機床機械誤差補償包含記憶式相對位置補償（jue對值）與記憶式螺距誤差補償（增量值）兩種,，三菱和法那科系統(tǒng)就是增量值補償?shù)拇碇?。?dāng)采用激光干涉儀進行增量值補償時，會遇到數(shù)據(jù)怎么對應(yīng)補償點位置的問題,。

增量值補償時有幾個重要參數(shù)：

參考點：參考點也就是基準(zhǔn)點,。

zui負(fù)端：設(shè)定zui靠近負(fù)端的補償數(shù)據(jù)編號。

zui正端：設(shè)定zui靠近正端的補償數(shù)據(jù)編號,。

補償倍率：寫入機床系統(tǒng)補償量的生效倍率,。

補償間隔：機床補償校準(zhǔn)時的補償間距。

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍,，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解,。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。