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中圖儀器SuperViewW1白光形貌儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式,，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,。
針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,，SuperView W的復合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小,、垂直法VSI精度低的雙重缺點,。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點,，即可自動掃描,， 重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙,。
超光滑透鏡測量
SuperViewW1白光形貌儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D,、3D參數(shù)作為評價標準。
產(chǎn)品功能
(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；
(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調亮度等自動化輔助功能；
(3)測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能；
(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；
(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結構分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；
(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
大尺寸樣品_拼接測量
應用領域
對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。
應用范例：
SuperViewW1白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷,、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
部分技術指標
| 型號 | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
| 干涉物鏡 | 標配：10× 選配：2.5×;5×;20×;50×;100× | |
| 光學ZOOM | 標配：0.5× 選配：0.375×;0.75×;1× | |
| 物鏡塔臺 | 標配：3孔手動 選配：5孔電動 | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移動范圍 | 140×100㎜ | |
| 負載 | 10kg | |
| 控制方式 | 電動 | |
| Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 電動 | |
| Z向掃描范圍 | 10 ㎜ | |
| 主機尺寸（長×寬×高） | 700×606×920㎜ | |
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