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SJ6000工業(yè)機(jī)床激光干涉儀集光,、機(jī),、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,,其壽命可達(dá)50000小時(shí)。具有測量精度高,、測量范圍大,、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量,。
在SJ6000工業(yè)機(jī)床激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測,,以及進(jìn)行位移、速度,、加速度,、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。
產(chǎn)品功能
(1)可實(shí)現(xiàn)線性、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度、垂直度等,;
(3)可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),;
(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),;
(5)具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能,,包括位移分析、速度分析,、加速度分析,、振幅和頻率分析等,,可進(jìn)行振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,;
(6)支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。
軟件特點(diǎn)
(1)友好的人機(jī)界面;
(2)豐富的應(yīng)用功能模塊,;
(3)向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>
(4)簡潔化的記錄管理,;
(5)支持中文、英文和俄文界面,;
(6)支持企業(yè)專屬模板定制,。
激光干涉儀測量機(jī)床直角
如機(jī)器軸垂直度誤差測量(數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)等),,SJ6000激光干涉儀垂直度測量是通過比較直線度值從而確定兩個(gè)標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度,,即在同一基準(zhǔn)上對兩個(gè)標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測量。然后對兩個(gè)軸的直線度進(jìn)行比較,得出兩個(gè)軸的垂直度,。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測量時(shí)反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸,,在兩次測量過程中既不移動(dòng)、也不調(diào)整,,光學(xué)直角尺測量中,,允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直,而不動(dòng)直線度反射鏡,。
典型情況下對于1.5米長的機(jī)器軸,,像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇,因?yàn)閭鹘y(tǒng)的實(shí)物基準(zhǔn),,如直角尺(金屬或大理石等)的長度一般局限于1米的范圍內(nèi),。
激光干涉儀對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償
數(shù)控機(jī)床機(jī)械誤差補(bǔ)償包含記憶式相對位置補(bǔ)償(jue對值)與記憶式螺距誤差補(bǔ)償(增量值)兩種,三菱和法那科系統(tǒng)就是增量值補(bǔ)償?shù)拇碇?。?dāng)采用激光干涉儀進(jìn)行增量值補(bǔ)償時(shí),,會(huì)遇到數(shù)據(jù)怎么對應(yīng)補(bǔ)償點(diǎn)位置的問題。
增量值補(bǔ)償時(shí)有幾個(gè)重要參數(shù):
參考點(diǎn):參考點(diǎn)也就是基準(zhǔn)點(diǎn),。
zui負(fù)端:設(shè)定zui靠近負(fù)端的補(bǔ)償數(shù)據(jù)編號,。
zui正端:設(shè)定zui靠近正端的補(bǔ)償數(shù)據(jù)編號。
補(bǔ)償倍率:寫入機(jī)床系統(tǒng)補(bǔ)償量的生效倍率,。
補(bǔ)償間隔:機(jī)床補(bǔ)償校準(zhǔn)時(shí)的補(bǔ)償間距,。
部分技術(shù)規(guī)格
穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
預(yù)熱時(shí)間 | ≤ 6分鐘 |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
線性測量距離 | (0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件) |
線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度軸向量程 | (0~15)m |
角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
平面度軸向量程 | (0~15)m |
平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm,;M為測量距離,,單位:m) |
直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
垂直度軸向量程 | 短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m |
垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
平行度測量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組
直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,,恕不另行通知,不便之處敬請諒解,。
如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,,請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。