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SuperViewW1中圖輪廓測量儀器是以白光干涉技術為原理的,一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器,。它結合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等,以3D非接觸方式,,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,。
產(chǎn)品功能
(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能,;
(2)測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,;
(3)測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能;
(4)分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結構分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,;
(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
應用領域
對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
應用范例:
SuperViewW1中圖輪廓測量儀器通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度,、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應用領域廣泛,,操作簡便,,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項參數(shù),。高精度、高重復性:
(1)采用光學干涉技術,、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),,保證測量精度高;
(2)隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上大部分振動,,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復性,。
部分技術指標
型號 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
干涉物鏡 | 標配:10× 選配:2.5×;5×;20×;50×;100× | |
光學ZOOM | 標配:0.5× 選配:0.375×;0.75×;1× | |
物鏡塔臺 | 標配:3孔手動 選配:5孔電動 | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移動范圍 | 140×100㎜ | |
負載 | 10kg | |
控制方式 | 電動 | |
Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 電動 | |
Z向掃描范圍 | 10 ㎜ | |
主機尺寸(長×寬×高) | 700×606×920㎜ |
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