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SuperViewW1中圖儀器3d輪廓測量儀以白光干涉技術為原理,，結合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等，以3D非接觸方式,，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,，結果組成：
1、三維表面結構：粗糙度,，波紋度,，表面結構，缺陷分析,，晶粒分析等,；
2、二維圖像分析：距離,，半徑，斜坡,，格子圖,，輪廓線等；
3,、表界面測量：透明表面形貌,，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面,；
4,、薄膜和厚膜的臺階高度測量,；
5,、劃痕形貌，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測量,；
6、微電子表面分析和MEMS表征,。
SuperViewW1中圖儀器3d輪廓測量儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能,，非常適合晶圓,，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量,?？蓮V泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領域中。
產(chǎn)品功能
(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；
(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；
(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,；
(4)分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；
(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結構分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；
(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。
SuperViewW1輪廓測量儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D,、3D參數(shù)作為評價標準。
應用領域
對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
應用范例：
部分技術指標
| 型號 | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
| 干涉物鏡 | 標配：10× 選配：2.5×;5×;20×;50×;100× | |
| 光學ZOOM | 標配：0.5× 選配：0.375×;0.75×;1× | |
| 物鏡塔臺 | 標配：3孔手動 選配：5孔電動 | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移動范圍 | 140×100㎜ | |
| 負載 | 10kg | |
| 控制方式 | 電動 | |
| Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 電動 | |
| Z向掃描范圍 | 10 ㎜ | |
| 主機尺寸（長×寬×高） | 700×606×920㎜ | |
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