NS系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,，臺階儀測試薄膜厚度采用LVDC電容傳感器,，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢,。

臺階儀測試薄膜厚度功能：

1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺，能夠快速定位到測量標(biāo)志位,；

2）對于批量樣件,，提供自定義多區(qū)域測量功能，實現(xiàn)一鍵多點位測量,；

3）提供SPC統(tǒng)計分析功能,，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢；

臺階儀可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度,、表面形貌,、表面波紋和表面粗糙度等的測量。它對測量工件的表面反光特性,、材料種類,、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應(yīng)面廣,，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高,、測量穩(wěn)定、便捷,、高效,，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

性能特點

1.重復(fù)性和再現(xiàn)性,，滿足被測件測量精度要求

線性可變差動電容傳感器（LVDC）,，具有亞埃級分辨率，13um量程下可達(dá)0.01埃,。高信噪比和低線性誤差,，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調(diào)

測力恒定可調(diào),，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面,。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制，實現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量,。

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,，杜絕運動中的細(xì)微抖動，提高掃描精度,，真實反映工件微小形貌,。

4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)，5MP超高分辨率彩色相機

5.全自動XY載物臺,， Z軸自動升降,、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺

6.強大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

臺階儀軟件包含多個模塊，為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持,。

典型應(yīng)用

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。