SuperViewW1中圖光學(xué)3D表面輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理,，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度,、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量,。

它具有測量精度高、操作便捷,、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短,，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量,。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動對焦,、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

(3)測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能,；

(4)分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

應(yīng)用范例：

除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，中圖光學(xué)3D表面輪廓儀具有的測量晶圓翹曲度功能,，非常適合晶圓,，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量,。結(jié)果組成：

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度,，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析，晶粒分析等,；

2,、二維圖像分析：距離，半徑,，斜坡,，格子圖，輪廓線等,；

3,、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面；

4,、薄膜和厚膜的臺階高度測量,；

5、劃痕形貌,，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測量；

6,、微電子表面分析和MEMS表征,。

部分技術(shù)指標

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。