SuperViewW1中圖光學(xué)3D表面輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器,，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌,，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度,、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。

它具有測(cè)量精度高,、操作便捷,、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短,，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量,。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,；

(2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

(3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；

(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。

應(yīng)用范例：

除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,，中圖光學(xué)3D表面輪廓儀具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量,。結(jié)果組成：

1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度,，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析,，晶粒分析等,；

2、二維圖像分析：距離,，半徑,，斜坡，格子圖,，輪廓線等,；

3、表界面測(cè)量：透明表面形貌,，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面；

4,、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量；

5,、劃痕形貌,，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量,；

6,、微電子表面分析和MEMS表征。

部分技術(shù)指標(biāo)

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